一、化工原理

     1摩尔氨（气态）在一定的压力和温度及镍触媒催化作用下，可分解为3/2摩尔的氢气和1/2摩尔的氮气，并吸收一定的热量。其化学方程式如下：

2NH₃^催化剂 3H₂ ＋N₂－Q

二、氨分解制气的优点

    利用液氨分解法制得的气体是一种良好的保护气体，可以广泛地应用于半导体工业，冶金工业，以及需用保护气氛的其它工业和科学研究中。利用氨分解制取保护气体，在工业上是很容易实现的，这是因为：

    1、氨易分解：在压力不高，催化剂作用下，温度控制在750-800⁰C时氨可大量分解，其分解率可达到99.9%。

    2、气体精制容易：作为原料的液态氨，纯度是很高的，其中挥发性杂质只有溶解在液氨中的少量惰性气体和水分，几乎不含氧，同时，氨分解所得气体采取适当方法就可除去少量水分即可得到精制的氢氮混合气，这样可以实现半导体工业上所不希望存在的有害的非金属元素。例如：氯和氧。

    3、在我国，原料液氨容易得到。价格低廉，而且原料消耗也比较少（每公斤氨可产生2.5Nm³混合气体）。

三、工艺流程

    液氨经减压后通过热交换器进入分解炉，分解炉内装有活化过的镍触煤，在750℃-8000℃温度下进行分解，分解后高温气体在热交换器内与气态氨进行热交换，此时分解气降温，气态氨回收热量并升温后进入分解炉分解，热交换后的分解气在冷却器内进一步冷却后，送至使用点。如有特殊需要，可再进行气体纯化，除去残余水分及其它杂质。其纯度可达到如下要求：露点：-60⁰C，残氨5PPM以下。