英国HHV公司多功能镀膜机（热阻蒸发、电子束蒸发和溅射系统）
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产品概述
英国HHV公司的HHV Auto系列产品是一种多功能镀膜设备（热阻蒸发、电子束蒸发和溅射可选），设计用于满足科研工作者和电子显微学家的需求。
Auto系列可配备各种真空系统、真空腔室和标准化工艺附件，提供一系列实验技术以满足现代化实验室的需要。
Auto3系列可选择配置钟罩式玻璃腔室、圆柱形玻璃腔室，也可以配置通用的FL400前开门式不锈钢箱式腔室。FL400腔室具有额外的高度与宽度，适用于安装较多的工艺附件。
客户可选择的模块化工艺附件，包括热阻蒸发源及其控制电源、3kW EB3电子束蒸发源、遮挡板、基片夹具以及膜厚监控仪等。
真空系统由触屏PLC控制和监控，易于操作；高真空泵选择包括扩散泵、涡轮分子泵、冷凝泵，并使用油封或干式泵作为支持泵。集成的具有备用电池的高真空阀门可在意外情况时保护泵和样品。
产品特点
触屏PLC自动控制真空系统
多种可选薄膜沉积源和电源
多种可选样品夹具
多种可选真空腔室
智能高真空阀门保护泵及样品
紧凑型设计，最小化空间占用
无需压缩空气
完整的安全使用互锁保护
技术参数
极限真空
600 l/s 扩散泵：2×10E-7 mbar
500 l/s 涡轮泵：2×10E-7 mbar
250 l/s 涡轮泵：2×10E-7 mbar
抽真空时间
大气压到1×10E-5 mbar：4分钟
大气压到1×10E-6 mbar：25分钟
主要应用
- 抗反射涂层
- 半导体
- 镜面
- 介质层
- 有机物/聚合物和OLED
- 光电子研究
- 复合物半导体
- 太阳能电池
- 纳米技术
1）英国Dage公司Dage4000/4000plus/Dage5000推拉力测试机（键合力测试仪、拉力剪切力测试仪） 2）德国YXLON公司（原Feinfocus）X光无损检测系统/3D CT X光无损检测系统（型号：Y.COUGAR SMT,Y.CHEETAH）,便携式***探伤系统(SMART) 3）美国Sonoscan公司超声扫描显微镜（型号：D9500,D9600,Gen6,P3000,DF2300,AW200,AW300,D24等） 4）德国ATV公司 真空共晶回流炉（型号：SRO700/714/716/i-line自动型） 5）瑞士Tresky公司高精度手动/自动贴片机（型号：T-3000-FC,T-3002，T-3202，T-6000，T-8000） 6）奥地利F&S/德国F&K公司高精度手动/自动引线键合机（含金丝球焊键合机、粗/细铝丝键合机、楔焊键合机、金带键合机，型号包括：53XX BDA，5310,5350，5610,5630,5632,5650，5810,5830,5832,5850，62000,64000,65000系列等） 7）德国PINK公司微波等离子清洗机和微波等离子去胶机（型号：V6/V15/V55/V80/V200/V10G） 8）美国UBI Benchmark公司平行缝焊，储能焊系统（型号：SM8500，AF8500,AF1250，P6000,P9000） 9）美国Baron Blakeslee公司气相清洗机(MSR120/MSR216/MSR280) 10）美国Temescal公司高均匀性电子束蒸发镀膜机（BJD/FC-2000型,BJD/FC-2800型,FC-4400型，UEFC-4900型，UEFC-5700型） 11）美国4Wave公司离子束刻蚀/沉积系统 12）英国Thermco公司LPCVD，扩散炉，氧化炉，退火炉，合金化炉(5100/5200,2600,2800等) 13）英国HHV公司真空镀膜系统(AUTO306,AUTO500,TF500/600，ATS500) 14）美国Trion公司等离子增强化学气相沉积系统PECVD（Orion III型，批量生产型的Titan型和Oracle III型多腔室型生产型），反应离子刻蚀机系统RIE（Phantom III型，批量生产型的Titan型和Oracle III型多腔室型生产型） 15）德国Cyber公司表面轮廓仪（CT100,CT300,CT350T,CT250T,CTR200,CT350S,CT600S,VANTAGE50,VANTAGE2等）
点击查看>| 企业类型 | 其他有限责任公司 | 经营范围 | 产品： 1）英国Dage公司Dage4000/4000plus/Dage5000推拉力测试机（键合力测试仪、拉力剪切力测试仪） 2）德国YXLON公司（原Feinfocus）X光无损检测系统/3D CT X光无损检测系统（型号：Y.COUGAR SMT,Y.CHEETAH）,便携式X射线探伤系统(SMART) 3）美国Sonoscan公司超声扫描显微镜（型号：D9500,D9600,Gen6,P3000,DF2300,AW200,AW300,D24等） 4）德国ATV公司 真空共晶回流炉（型号：SRO700/714/716/i-line自动型） 5）瑞士Tresky公司高精度手动/自动贴片机（型号：T-3000-FC,T-3002，T-3202，T-6000，T-8000） 6）奥地利F&S/德国F&K公司高精度手动/自动引线键合机（含金丝球焊键合机、粗/细铝丝键合机、楔焊键合机、金带键合机，型号包括：53XX BDA，5310,5350，5610,5630,5632,5650，5810,5830,5832,5850，62000,64000,65000系列等） 7）德国PINK公司微波等离子清洗机和微波等离子去胶机（型号：V6/V15/V55/V80/V200/V10G） 8）美国UBI Benchmark公司平行缝焊，储能焊系统（型号：SM8500，AF8500,AF1250，P6000,P9000） 9）美国Baron Blakeslee公司气相清洗机(MSR120/MSR216/MSR280) 10）美国Temescal公司高均匀性电子束蒸发镀膜机（BJD/FC-2000型,BJD/FC-2800型,FC-4400型，UEFC-4900型，UEFC-5700型） 11）美国4Wave公司离子束刻蚀/沉积系统 12）英国Thermco公司LPCVD，扩散炉，氧化炉，退火炉，合金化炉(5100/5200,2600,2800等) 13）英国HHV公司真空镀膜系统(AUTO306,AUTO500,TF500/600，ATS500) 14）美国Trion公司等离子增强化学气相沉积系统PECVD（Orion III型，批量生产型的Titan型和Oracle III型多腔室型生产型），反应离子刻蚀机系统RIE（Phantom III型，批量生产型的Titan型和Oracle III型多腔室型生产型） 15）德国Cyber公司表面轮廓仪（CT100,CT300,CT350T,CT250T,CTR200,CT350S,CT600S,VANTAGE50,VANTAGE2等） | ||
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