微氧分析仪为检验高纯度制程气体中的微量含氧，以确保制程气体的纯度，避免管路泄漏破损渗入大气中的氧气破坏制程品质，增进制程良率，并依各制程对制程气体管路含氧量之要求，进行必要之测试设备。 

产品特色-

. 使用气体感测技术核心燃料电池式微量氧

感测元件，具准确度高及反应速度快，不需特别

保养等特性。 

. 适用于氮气、氢气、氩气等还原性气体中微量氧

的侦测。 

. 採用4.3”TFT大萤幕显示，可同时显示含氧量、

日期、时间等参数。 

. 于全量程范围内可任意设置警报点上、下限。 

. 自动记录随时间的氧浓度变化曲线。 

. 输出4~20mA标准信号；标准RS485/RS232(选用)

通讯口，可连结RJ45网路、Bluetooth、MicroSD

及USB与电脑双向通讯。