回收、收购、二手供应及维修AE Cesar136 RF射频电源VM1500匹配器,磁控溅射价格

加工定制：是	品牌：AE ADVANCED ENERGY DRESSLER	型号：Cesar136 VM1500
产品认证：CE

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回收、收购、二手供应及维修AE Cesar136 RF射频电源VM1500匹配器,磁控溅射

AE Cesar射频电源VM1500匹配器,磁控溅射电源

深圳溢达兴电子有限公司

地址：深圳市南山区南新路苏豪名厦19B2邮编：518052电话：0755-26063450 26063480传真：0755-26063410手机：13714031994（肖小姐）手机：13714215097（李小姐）QQ：545895948（肖小姐）E-mail：sales@e-rfpower.comE-mail: gdydx@qq.com强大而多功能的 Cesar? 射频电源平台可提供非常稳定的射频功率输送性能，以及一个多样化的模式选择，每种模式都具有一套独特的功能（2、4、13.56、27.12和40.68 MHz；0.3至5 kW；拥有多种用户界面和输入选择），从而使您能够选择一套特别适合您应用的组件——而无需定制发生器所需的漫长交付期。

欢迎上E-RFPOWER网站看其他电源。高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现化，从而使您的投资和制程生产力得到化的利用。一个全面而高度灵敏的操作菜单（可在该组件的多功能前面板上找到，并显示在一个大的液晶显示屏上）带来了的便利性——提高了操作人员的效率，并使培训成本最小化。

典型应用：

高密度等离子体化学气相淀积（HDP CVD）

等离子体增强化学气相沉积（PECVD）

刻蚀-RIE/ICP

物***相沉积

等离子清洗

优点

***的制程正常运行时间
更高的操作简易性和灵活性
无需定制组件提前期的定制化性能
长期的使用简易性，节省成本
功能
精簡的流线型设计
标准的平台包装
高效率——低发热量
200和400 VAC 的输入选择
两个模拟用户端口选择
RS-232、以太网及 Profibus 通讯
多功能前面板
便利、全面的操作菜单
CEX（相位同步）操作模式

CESAR^? 1310 RF GENERATOR
Specification


Frequency	13.560 MHz +/- 0.005%
Max output power	1000 W into a 50 ? load
Min output power	10 W into a 50 ? load
Reflected power limit	200 W
Delivered power into mismatch	20% depending on the load impedance
Load impedance	50 ?
RF connector	50 ?, N-type, female
RF power regulation mode	P forward, P delivered, or DC selfbias voltage
Regulation (of set point)	1.0 or 0.1% of full-rated power, whichever is greater, into a 50 ? load
Response time (ms)	Consult factory.
Turn off/decay time (ms)	Consult factory.
Harmonics	-50 dBc at full-rated power
Spurious content	-60 dBc max at full-rated power
Pulse mode	Yes
Pulse repetition frequency	1 to 30 kHz
Pulse repetition frequency	Consult factory.
Pulse duty cycle	1% to ***
Pulse duty cycle	Consult factory.
Pulse RF envelope rise / fall time (ms)	Consult factory.
CEX operation mode	Yes
CEX input signal as required	0 to +10 dbm
CEX output signal specifications	+3 to +10 dbm
CEX connector (50 ?)	BNC, female
Display	LCD graphic display
Display	256 x 132 dots , black / white

Interlocks and Limits


Reflected power	Yes
Overtemperature	Yes
Current limit	Yes
DC overload	Yes
RF power limit	Yes

Cooling


Cooling	Air cooling
Air cooling requirement	118 m/h³

AC Power Line


AC line voltage (1-phase)	110 VAC/230 VAC (187 AC to 253 VAC)
AC line frequency	50/60 Hz
AC line current (per phase)	6.5 A nominal line, full power
AC input power	1490 VA
Overcurrent limit (per phase)	10 A to be created by user through fuse or circuit breaker
Efficiency line to load	66% at full power, nominal line
Power factor	97% to *** at max power
AC mains connection	IEC 320 at full power

Physical Specification


Packaging	19" rack cabinet
Mounting	19" rack mounting
Weight	19.5 kg (43 lb)
Clearance	60 mm (2.36") on each side for air flow into unit
Dimensions	88 mm (H) x 483 mm (W) x 500 mm (D)
Dimensions	3.46" (H) x 19" (W) x 19.69" (D)

供应商信息

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深圳市溢达兴电子有限公司成立于2002年，现有专业技术人员27人, 员工56人, 专业从事二手半导体MOCVD设备翻新、半导体电源维修、光伏逆变器、光伏电池板、光伏储能、射频等离子体电源、射频放大器和真空等离子体设备代理销售、维修及维护，公司储备了各个公司的电源设备图纸，购置了各类维修仪器设备，找问题准快，维修质量好，是中国较早的3家电源维修及半导体设备翻新公司之一，目前在深圳、东莞、上海、北京、西安都有办事处，欢迎来电咨询。服务内容1：销售美国AE、MKS、ENI、E&I、IFI、SMITCH-TOMCO、CPI、德国SMITCH、BONN射频电源及射频放大器,如CESAR1310/CESAR136/600W/1000W等。服务内容2：为半导体工厂、学校研究所、液晶面板工、触摸屏工厂、磁控溅射设备提供SMITCH、AE、MKS(ENI)、SMITCH-TOMCO、BONN、CPI、IFI、DAIHEN、AD-TEC、CIPRIAN、KYOSAN、RFPP、E and I 、AR（arworld）、empowerrf、T and C Power 、wenteq、aetechron、ciprian、等***的射频电源（RFgenerator）、直流电源、匹配器、RPS维修、销售。服务内容3：各类真空磁控溅射设备、等离子体清洗设备、光学镀膜设备、硅片镀膜设备、PECVD设备维修、销售，改造服务，并提供现场支持服务。服务内容4：各类常压或大气压LCD触摸屏等离子体清洗设备，主要机型如韩国APP ILP-500C 、日本积水SEKISUI RTX055。公司秉承“顾客至上，锐意进取”的经营理念，坚持“客户”的原则为广大客户提供优质的服务。欢迎惠顾！公司名称：深圳溢达兴电子有限公司地址：中国广东深圳市深圳市南山区南新路苏豪名厦19B2 邮编： 518052

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企业类型	私营有限责任公司	注册资本	200.00万人民币
公司注册地址	深圳市南山区南新路苏豪名厦19B2	统一社会信用代码	91440300736281669P
登记机关	深圳市市场监督管理局	法定代表人	周斌
公司成立日期	2002-10-02	营业期限	5
经营范围	维修及二手销售射频电源、射频放大器、等离子体设备、医疗设备、激光

联系方式

黄先生

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电话 𐁇𐁊𐁋𐁋𐁌𐁍𐁆𐁇𐁆𐁈𐁎𐁅𐁇
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