| 是否进口：否 | 产地：中国 | 品牌：MKS |
| 型号：AX7710 | 适用范围：真空镀膜 | 电源名称：远程等离子 |
| 输出电流：10A | 输入电压：380V | 输出电压：1200V |
| 输出功率：10KW |
ASTRON? Paragon?
下一代远程等离子体平台
新型ASTRON? Paragon?反应气体发生器是***的ASTRON远程等离子体源家族的***成员。在现有ASTRON反应气体发生器的生产验证特性基础上，Paragon进行了改进和升级，以实现下一代工艺开发。Paragon反应气体发生器专为高达6 slm的NF流量和高达10 Torr的压力设计，同时保持高气体解离率，从而实现更高的工艺灵活性、缩短处理时间并提高吞吐量。基于MKS***的低场环形等离子体技术，Paragon采用了新的PEO涂层，提供***的性能和延长的模块寿命。
Paragon反应气体发生器的主要应用是通过产生原子氟进行腔室清洁，原子氟与腔室内的过量薄膜沉积物反应并将其去除。生成的废气易于净化，限度地减少环境影响。此外，作为远程等离子体源，Paragon相比原位RF方法减少了工艺腔室的磨损。
Paragon反应气体发生器提供两种型号：配备标准DB25通信端口的AX7700和配备EtherCAT通信端口的新款AX7710。EtherCAT协议针对工艺数据进行了优化，可直接在标准的IEEE 802.3以太网帧内传输。EtherCAT从设备在电报通过时读取发送给它们的数据，同时插入输入数据。结果是数据传输响应速度更快，从而实现更好的整体设备控制。
特性与优势
● 紧凑尺寸下高达6 slm NF流量，实现更快清洁时间
● 整个操作空间内>95%的解离率，实现清洁效率
● EtherCAT通信实现更快、更紧密的设备操作
● 改进的点火电子设备和操作空间大幅提升工艺灵活性
● 优异的进气分布和PEO等离子体块涂层，提升性能和模块寿命
● 符合ROHS、CE、S2、F47标准
规格与订购信息
| 气体供应 | |
|---|---|
| 点火 | 仅点火使用*** Ar |
| 工艺 | 点火后使用高达6 slm的NF3（可添加NF3并移除Ar） |
| 点火和操作条件 | |
| 点火期间 | Ar压力1-8 Torr@1-5 slm（压力在ASTRON出口测量） |
| 点火后 | 点火后压力1-10 Torr@1-6 slm（压力在ASTRON出口测量） |
| 反应物输出（NF3操作） | 整个操作空间内>95%解离率，1-10T，1-6 slm（压力在ASTRON出口测量） |
| 占空比 | 最小2秒开启时间，可达*** |
| 浸湿材料 | PEO涂层、6061-T6铝、Chemraz?、氧化铝 |
| 控制接口 | EtherCAT、光隔离I/O 25针D连接器、光隔离I/O |
| 输入 | 开/关（等离子体请求） |
| 输出 | 就绪；交流正常；等离子体正常 |
| 实用程序 | 电源180-228 VAC，50/60 Hz，35A，三相（建议50A供电） 冷却水2.0 gpm，<30°C 环境温度40°C |
| 物理规格 | 54磅（24.5公斤）；18.40英寸L x9.50英寸W x 10.50英寸H（467 x 241 x 267毫米标称尺寸） |
| 工艺气体进排气 | 进气口KF40连接；出气口KF50连接 |
| 符合标准 | NRTL；CE安全认证（EN61010-1、UL 61010-1、CSA C22.2.61010-1） CE电磁兼容（EN61326-1、EN61000-6-2、EN61000-6-4）；SEMI F47、SEMI S2 安全标准（S8、S10、S14） |
如需价格、供货和应用指导，请联系您当地的客户代表。
MKS Instruments, Inc.全球总部
MKS Instruments, Inc.等离子体与反应气体解决方案
深圳市溢达兴电子有限公司成立于2002年，现有专业技术人员27人, 员工56人, 专业从事二手半导体MOCVD设备翻新、半导体电源维修、光伏逆变器、光伏电池板、光伏储能、射频等离子体电源、射频放大器和真空等离子体设备代理销售、维修及维护，公司储备了各个公司的电源设备图纸，购置了各类维修仪器设备，找问题准快，维修质量好，是中国较早的3家电源维修及半导体设备翻新公司之一，目前在深圳、东莞、上海、北京、西安都有办事处，欢迎来电咨询。 服务内容1： 销售美国AE、MKS、ENI、E&I、IFI、SMITCH-TOMCO、CPI、德国SMITCH、BONN射频电源及射频放大器,如CESAR1310/CESAR136/600W/1000W等。 服务内容2： 为半导体工厂、学校研究所、液晶面板工、触摸屏工厂、磁控溅射设备提供SMITCH、AE、MKS(ENI)、SMITCH-TOMCO、BONN、CPI、IFI、DAIHEN、AD-TEC、CIPRIAN、KYOSAN、RFPP、E and I 、AR（arworld）、empowerrf、T and C Power 、wenteq、aetechron、ciprian、等***的射频电源（RFgenerator）、直流电源、匹配器、RPS维修、销售。 服务内容3： 各类真空磁控溅射设备、等离子体清洗设备、光学镀膜设备、硅片镀膜设备、PECVD设备维修、销售，改造服务，并提供现场支持服务。 服务内容4： 各类常压或大气压LCD触摸屏等离子体清洗设备，主要机型如韩国APP ILP-500C 、日本积水SEKISUI RTX055。 公司秉承“顾客至上，锐意进取”的经营理念，坚持“客户”的原则为广大客户提供优质的服务。欢迎惠顾！ 公司名称：深圳溢达兴电子有限公司 地址： 中国广东深圳市深圳市南山区南新路苏豪名厦19B2 邮编： 518052
点击查看>| 企业类型 | 私营有限责任公司 | 注册资本 | 200.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 深圳市南山区南新路苏豪名厦19B2 | 统一社会信用代码 | 91440300736281669P |
| 登记机关 | 深圳市市场监督管理局 | 法定代表人 | 周斌 |
| 公司成立日期 | 2002-10-02 | 营业期限 | 5 |
| 经营范围 | 维修及二手销售射频电源、射频放大器、等离子体设备、医疗设备、激光 | ||
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- 地 址 广东 深圳 宝安区 南新路苏豪名厦19B2 QQ：2816004853 skype:erfpower1 阿里旺旺: tb4755642_2012
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