| 产品特性:定制 | 是否进口:否 | 产地:中国 |
| 加工定制:是 | 品牌:WAYES-VAC | 型号:MS-246 |
设备用途:
用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。
设备组成
系统主要由溅射真空室、永磁磁控溅射靶(3个靶)、单基片加热台、直流电源、射频电源、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。
技术指标:
1. 极限真空度6.7×10-5Pa; 分子泵满速1小时后真空度达到4×10-4Pa;
2. 超高真空磁控靶:有效尺寸3英寸,数量:3支,永磁靶(自带侧开挡板),水冷;
3. 靶基距120-200mm可调,用光轴加直线轴承导向,可手动连续调节,有刻度指示;三靶共溅射,靶可摆角度,角度为0~45℃;
4. 样品加热:采用碘钨灯加热方式对样品进行加热,样品可加热400℃;
5. 磁控溅射样品有效尺寸:Φ60mm,一次只镀1片;镀膜时样品架实现自转,自转转速为0~50转/分;样品加负偏压0-200V可调;
6. 气体控制:气体流量通过两路质量流量控制器控制,流量范围为:0~50 sccm;
7. 系统带有手动控制功能,主要实现样品的加热控制;样品的旋转控制;磁控靶档板的控制;真空度的采集。
北京维意真空技术应用有限责任公司,原名北京科立方真空技术应用有限公司,创立于2013年6月,主体经营分为真空配件销售、真空设备集成、真空腔体定制加工和真空馈通法法兰四个部分,是北京从事真空产品设计、制造、销售、维修、保养于一体的专业性的有限责任公司,公司拥有一支专业、***的产品技术工程师和维修技术工程师,具有丰富的行业经验。 公司于2016年初至2017年末,陆续投入大量研发资金,针对PE-CVD等离子增强化学气相沉积设备、ALD原子层沉积设备和高低温真空探针台、小型桌面磁控溅射镀膜机和小型桌面热蒸发镀膜机设备,以及附属配件(真空航插电极法兰、光纤真空馈通法兰、RJ45网线真空法兰、K型热电偶真空法兰、USB3.0真空馈通法兰等)进行了系统、深入的研发、改进工作。竭尽所能满足高校、研究所的教学、科研使用,平替进口产品! 我们的客户遍布国内各高校和研究院所、部分***单位和电力试验所、各级的材料、物理、化学、纳米等研究领域***的实验室,期待您就是我们的下一位客户、朋友! 您的满意微笑是我们一直努力追求的经营目标! 维意真空,为您服务,唯你成就是我们的宣传口号! 技术创新、业务专业、服务诚信是我们一直遵循的经营理念! 我们热诚欢迎国内外***的仪器制造商及科学工作者与我们联系开展各层面的合作,打造成***的真空系统设备供应商。
点击查看>| 企业类型 | 有限责任公司 | 注册资本 | 250.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 北京市密云区西田各庄镇雁密路99号601室-819 | 统一社会信用代码 | 91110228069571936J |
| 登记机关 | 北京工商行政管理局密云分局 | 法定代表人 | 杨利佳 |
| 公司成立日期 | 2013-06-03 | 营业期限 | 2013年06月03日至2033年06月02日 |
| 经营范围 | 技术推广;组织文化艺术交流活动;销售电气机械、通用设备、专用设备、电子产品;委托加工;维修家用电器、仪器仪表。 | ||





