臭氧消毒机主要用于食品药品化妆品等行业的加工车间和类似场所的空气灭菌和物体表面灭菌。臭氧消毒机按安装形式可分为：移动式、壁挂式、吊灯式、落地式等。臭氧消毒机在制药厂GMP车间和HVAC系统配套使用时，通常分为内置式和外置式两种。使用臭氧发生器制取臭氧的机器称为臭氧消毒机，这里臭氧作为消毒剂使用。
经济的发展，越来越多人更讲究优质健康的生活了，尤其对餐饮器具、食物的卫生情况的重视，像近几年来人们开始广泛使用的消毒柜，品种多样，最常见的消毒柜，当属臭氧消毒机，是采用臭氧消毒工作方式的。
 二战以后，国际上臭氧应用技术获到了长足发展。首先，1902年，德国帕德博恩建立了第‘一座用臭氧处理水质的大规模水厂，***了臭氧水处理的先河，现在世界上已有数千座臭氧水厂。欧美、日本、加拿大等国家的自来水厂应用臭氧已达到普及程度，使用臭氧取代氯消毒净化的自来水，可供直接生饮。矿泉水、纯净水厂家几乎都装备了臭氧设备。美国七十年代初开始利用臭氧处理生活污水，主要是为了灭菌消毒、去除污染物、脱色等达到排放标准。日本则在缺水地区将污水用臭氧处理后作为中水使用。美、日、德、法等国家近年来都建立了大规模的臭氧污水处理厂。