PVC3001密闭真空系统的泄漏检测0.001Torr传感器

MEMS热电堆真空传感器

说明

 Posifa公司的PVC3000系列MEMS热电堆真空传感器提供了突破性的真空测量解决方案。通过这种方案，可以测量从1mTorr(0.13Pa)到一个标准大气压(760Torr，101KPa)的整个量程。很明显，皮拉尼真空度传感器的测量上限仅达到30Torr。一个压阻式压力传感器无法测量低于10Torr的真空度。一个昂贵的电容式压力传感器的测量下限也仅有0.1Torr。PVC3000系列传感器可以同时取代上述几种传感器。

 此外，PVC3000拥有超快响应时间(不超过2mSec)和超低功耗(典型值：45mW)的特点。通过休眠的手段，功耗还可以进一步降低。比如说，把休眠触发设置为10Hz，那么功耗可以降低到5mW。

 PVC3000可以倍设计位差分结构，将一个传感器暴露于真空当中(作为测量单元)，同时把另一个传感器放置于大气环境中(作为参考单元)。这样的差分结构可以实现自动内部温度补偿，以及排除其他可能造成传感器漂移的环境因素，以此达到良好的重复性和长期稳定性。

 PVC3000采用了博思发的***代热传导传感器芯片(PTCD20)，利用气体的热传导率与该气体的真空度成正比的原理设计而成。

 PVC3000系列传感器，现在向客户提供两种封装形式。PVC3001封装在TO5的金属壳体中，PVC3004封装在TO46的金属壳体中。

特点

量程：0.001~760托（0.13~101K帕）

响应时间：小于2毫秒

功耗：小于5mW（10Hz唤醒频率）

利用差分结构实现自动内部温度补偿（依赖于实际应用电路）

可以浸泡于溶液中清洗，延长使用寿命

极限条件

工作温度：-25~85℃

存储温度：-40~90℃

机械冲击：100g峰值（5次跌落，3轴）

应用

密闭真空系统的泄漏检测

真空包装机

便捷式数字真空计

产品编号 规格

PVC3001 TO5  金属封装

PVC3004 TO46 金属封装

PN13156

PN13104

PN13101

RM3100

TCM-XB

PN12810

NPC-1210-10WD-3S

NPC-1210-001D-3S

NPC-1210-005D-3S

NPC-1210-015A-3S

NPI-19A-021GH

NPI-19A-031GH

NPA-700B-10WD

NPA-700B-001D

NPA-700B-015A

SM5651-001-D-3-SR 

SM5651-003-D-3-SR 

SM5651-008-D-3-SR 

SM5651-015-D-3-SR 

SM5852-001-D-3-LR

SM5852-003-D-3-LR

SM5852-015W-D-3-LR

SM9541-010C-S-C-3-S

SM9541-010C-D-C-3-S

SM9541-020C-S-C-3-S

SM9541-020C-D-C-3-S

DLC-L01D-D4

DLC-L02D-D4

DLC-L05D-D4

DLC-L10D-D4

DLC-L20D-D4

DLC-L30D-D4

DLC-L60D-D4

DLC-005D-D4

DLC-015D-D4

DLC-030D-D4

DLC-100D-D4

DLC-150D-D4

0.5 INCH-D-MV

1 INCH-D-MV

2 INCH-D-MV

5 INCH-D-MV

10 INCH-D-MV

20 INCH-D-MV

30 INCH-D-MV

1 INCH-D-4V

1 INCH-G-4V

2.5 INCH-D-4V

2.5 INCH-G-4V

5 INCH-D-4V

5 INCH-G-4V

10 INCH-D-4V

10 INCH-G-4V

20 INCH-D-4V

20 INCH-G-4V

30 INCH-D-4V

30 INCH-G-4V

40 INCH-G-4V

60 INCH-G-4V

0.25 INCH-D-4V

0.25 INCH-G-4V

0.5 INCH-D-4V

0.5 INCH-G-4V

DLVR-L01D-E1NS-C-NI3F

DLVR-L01D-E1BD-I-NI3N

DLVR-L02D-E1NS-C-NI3F

DLVR-L60D-E1NS-C-NI3F

DLVR-L10D-E1NS-C-NI3F

DLVR-L02D-E1NJ-C-NI5F

DLVR-F50D-E1ND-I-NI3L

DLVR-L10D-E2NS-C-NI5F

DLVR-L02D-E1NJ-C-NI3F

DLVR-L02D-E2NJ-C-NI5F

DLVR-L02D-E2NS-C-NI5F

DLVR-L10D-E2NS-C-NI3F

DLVR-F50D-E1BD-I-NI3L

DLVR-L60D-E1NJ-C-NI3F

DLVR-L10D-E1NJ-C-NI3F

DLVR-L10D-E1NJ-C-NI5F

DLVR-L10D-E2NJ-C-NI3F

DLVR-L02D-E2NS-C-NI3F

DLVR-L10D-E2NJ-C-NI5F

DLHR-L02D-E1BD-C-NAV8

DLHR-L02G-E1BD-C-NAV8

DLHR-L05D-E1BD-C-NAV8

DLHR-L30D-E1BD-C-NAV8

DLHR-L10D-E1BD-C-NAV8

DLHR-L10G-E1BD-C-NAV8

DLHR-L01G-E1BD-C-NAV8

DLHR-L30G-E1BD-C-NAV8

DLHR-L05G-E1BD-C-NAV8

DLHR-F50D-E1BD-C-NAV8

DLHR-L01D-E1BD-C-NAV8

DLHR-F50G-E1BD-C-NAV8

PCIH47F300A1/AA

PCIH47M400A1/AA

PCIH49W25M400A1/AA-378.0

PCIH49W25F300A1/AA-379.0

PCIH47F9300A1/AA

SDP610-500pa

SDP610-125pa

SDP610-25pa

SDP1000-L025

SDP1000-L05

SDP1000-L

SDP1000-R

SDP2000-L

SDP1108-R

SDP2108-R

SDP31-500Pa

SDP32-125Pa

SDP810-500pa

SDP810-125pa

PLF2105 V/D

PLF2135 V/D

PMF2101 V/D

PMF2102 V/D

PMF2103 V/D

PMF2104 V/D

PMF2105 V/D

PMF2108 V/D

PMF4101 V/D

PMF4102 V/D

PMF4103 V/D

PMF4104 V/D

PMF5006 V/D

PMF5007 V/D

PMF5003 V/D

PMF5008 V/D

PMF5009 V/D

PMF6102 V/D

PMF6106 V/D

PMF8225

PMF8226

PMF8228

PMF8262

PMF8265

PMF8268

AWM1100V

AWM1200V

AWM1300V

AWM2100V

AWM2100VH

AWM2150V

AWM2200V

AWM2300V

AWM2300VH 

AWM42150VH

AWM42300V

AWM92100V

AWM92200V

AWM3100V 

AWM3130V 

AWM3150V 

AWM3200CR

AWM3200V

AWM3201CR

AWM3205V

AWM3300V

AWM3303V

AWM5101VN 

AWM5102VA

AWM5102VC 

AWM5102VN

AWM5103VA

AWM5103VC

AWM5103VN

AWM5104VA

AWM720P1

AWM730B5

AWM43300V

AWM43600V

SLG-0025

SLG-0075

SLG-0150

SLI-0430

SLI-1000

SLI-2000

SLS-1500

SLQ-QT105

SLQ-QT500

SLF3S-1300F

LS32-1500

LG16-0025

LG16-0150

LG16-0430

LG16-1000

LG16-2000

LG16-2000HC

LG01-2000

LPG10-1000

LD20-2600B

LD20-0600L

SFM3000 

SFM3100

SFM3200

SFM3200-AW

SFM3300-AW

SFM3300-D

SFM3400-AW

SFM3400-D

SFM4100

SFM4200

SFM5300

SFM5400

PVC1001-1 TO5 

PVC1001-2 TO5 

PVC1004-1 TO46 

PVC1004-2 TO46 

PVC3001 TO5 

PVC3004 TO46