真空开关 INFICON VSA100A、VSC150A：

1、VSA100A 环境压差

INFICON 真空开关 VSA100A 用作真空系统的安全开关。 例 如，对真空系统进行排气的吹扫气 低于大气压 6 毫巴时，自动干预气体供应。 与大气压的压差达到 6 毫巴时，开关断开，而当压力上升到 低于大气压 3 毫巴时，开关复位，弹性的膜片驱动一个转换触片轮流作用， 可以用来直接开关任何外部设备。

益处

• 性能可靠且价格适中的真空开关

• 使用寿命长

• 坚固耐用的设计

• 易于集成

• IP 44 保护

典型应用

• 加载互锁真空室的控制

• 安全关闭真空系统

2、VSC150A 绝压开关，被动式

INFICON 真空开关 VSC150 是一种绝压开关，带有 电子开关触点，可从 0.5 调至 2000 毫巴。 这种机械设计允许 短时间内超载至 3000 毫巴，且不会对开关的转换精度产生 ± 0.1 毫巴的影响。 INFICON 可根据客户的具体要求调整压力开关。

益处

• 高开关精度（± 0.1 毫巴）

• 长期稳定的运行特点

• 坚固的防腐蚀设计

功能

• 基准室中的开关触点（常闭）保护 免受过程介质的影响

• 采用开关放大器，提高开关能力

• 提供进行压差测量的转接器

典型应用

• 压力开关或压差开关用于控制阀门、泵和电源

• 加载互锁真空室

• 过程腔室