Tergeo 等离子体系统-一种用于研发的等离子体蚀刻和清洗的经济高效的多功能解决方案。通过全自动系统控制确保一致、可重复的结果，Tergeo 系统可以产生各种等离子体，包括氧气、氩气、环境空气、氮气、氢气、SF6、水蒸气等，以有效去除碳氢化合物和无机表面污染物。其***的功能不仅可以清洁和活化表面，还可以增强粘合强度，提高表面能，并使样品亲水，使其成为***表面制备和改性的理想选择

Tergeo桌面等离子清洗机的规格和特点：

1. RF 功率系统

• 频率：13.56 MHz -在同等功率下，比低成本 kHz 等离子系统效*** 10 倍以上。

• 功率输出：可选择 0-75 W 或 0-150 W，可通过配方设置以 1 W 的增量进行调节。

• 阻抗匹配：全自动优化功率传输。

2.等离子体操作模式

• 模式：

• 连续模式：传统的稳态等离子体操作。

• 脉冲模式：功能，可从 ***（连续）到小于 1%的可调脉冲占空比，将等离子体强度动态范围提高 100 倍。

• 清洁技术：

• 高速直接模式：电容耦合放电的积极清洁。

• 温和的下游模式：感应耦合放电更微妙的清洁应用。

3.过程监测和控制

• 等离子体强度监测：在蚀刻、灰化和清洁过程中进行实时定量测量，以确保工艺稳定性和可重复性。

• 控制系统：

• 基于预设配方的全自动操作（可定制）。

• 需要时可手动操作。

4.气体输送和腔室设计

• 工艺气体：与氧气、氩气、氢气、氮气、CF 气体、SF 气体、水蒸气等兼容。

• 气体输送：

• 最多三个通道，带质量流量控制器（MFC）调节气体输入。

• 用于大气压力排气的附加排气口。

• 灭菌室：

• 由石英构成。

• 内径：4.3 英寸（160 毫米）。深度：11 英寸（280 毫米）。

5.真空系统

• 压力传感器：耐腐蚀铂丝皮拉尼压力计。

• 真空泵选项：

• 优质干式涡旋泵额定用于氧气应用。

• 油泵内充有惰性 PFPE 泵油，与氧气相容。

6.用户界面和远程支持

• 接口选项：

• 嵌入式 7 英寸 LCD 工业触摸屏。

• 基于 Windows PC 的界面。

• 产品特点：

• 全自动操作，集成配方控制。

• 运行日志存储以进行进程监控。

• 远程支持：

• 自诊断功能和日志文件存储，用于故障排除。

• 必要时可从美国总部进行远程控制访问。

7.物理和电气规格

• 尺寸：450 mm（宽）× 250 mm（高）× 430 mm（深）。

• 重量：约 45 磅（20 公斤）。

• 电气输入：90-230 V AC，单相，10 A。

8.认证

• UL 61010-1：2012 R4.16

• CAN/CSA-C22.2 61010-1-12+GI1+GI2（R2017）

• IEC 61010-1：2010

• CE 和 T?V Rheinland 品牌

• NRTL 兼容

• 
  

Tergeo桌面等离子清洗机典型应用：

• 引线键合、倒装芯片封装、器件封装和解封装

• SEM/TEM 样品清洗用于去除碳污染物和减少氧化物

• 生物医用涂层前的表面处理及提高医用植入物的亲水性

• 环氧树脂粘合前的光学、玻璃和基板清洁

• 光致抗蚀剂灰化、除渣和硅晶片清洗

• PDMS、微流体、载玻片和芯片实验室

• 改善金属对金属或复合材料的粘合

• 改善塑料、聚合物和复合材料的粘合