淄博洁净净化之集成电路无尘车间施工

集成电路无尘车间为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该洁净室对环境洁净度，温湿度，振动，ESD,AMC控制等有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造洁净室有面积大，洁净等级高，温湿度控制精度高等特点。

淄博洁净净化之集成电路无尘车间施工

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

***种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

***种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为最主要的净化设计方案。

淄博洁净净化之集成电路无尘车间施工

洁净净化技术是设计与施工的专业技术企业,提供净化工程、无尘车间、超净车间、洁净工程、风淋室、无尘厂房、无菌厂房、医院洁净手术室、光电净化厂房等高新技术企业10万-10级空气净化系统工程设计、制造、安装、调试、检测综合性成套服务。

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