高压流量控制器 高压控制器商品简介: 
· 热式原理 
· 一体化设计 
· 满量程从 5SCCM 到 1000SLPM 
· 响应时间不超过 2 秒钟 
· 操作压力可达 20MPa 
· 对安装位置不敏感 
· 316SS 材质
· 无直管段要求 
· 单电源供电 
高压流量控制器 高压控制器技术参数 
流量范围 ：从 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具体请参考表一 
响应时间 ： 1 ～ 2 秒 
精 度 ： ± 1% 满量程（除 114 型）； ± 1.5% 满量程（ 114 型） 
再 现 性 ： ± 0.2% 满量程 
量 程 比 ： 50:1 （ 2%-*** 满量程） 
环境和操作温度 ： -10 ～ 70 ℃ 
操作压力 ： 3000PSIG （ 20MPa ） ，具体请参考表一 
零点漂移：± 0.05 % 满量程 / ℃ 
范围漂移： ± 0.05 % 读数 / ℃ 
压力漂移： 0.1%/atm （相对于 N 2 ） 
安装方向： 对位置不敏感 
预热时间： 10 分钟 
电气连接： 卡式（ 20 针）或 D 型（ 9 针） 
流量信号输出： 
0-5VDC （最小负载电阻 2K Ω ）； 
0-10VDC （最小负载电阻 3K Ω ）； 
1-5VDC （最小负载电阻 2K Ω ）； 
4-20mA （请参考下面的说明）； 
对于流量信号输出为 4-20mA 的负载电阻： 
环路电压为 6.5-15VDC 时： 0-450 Ω 
环路电压为 15-30VDC 时： 200-750Ω 
供应电源 ： 
电压输出：＋ 12( ± 5 ％ ) （仅适用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信号输出）或 +15( ± 10 ％ )VDC
电流输出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或 +24( ± 15 ％ )VDC 
电流消耗：＜ 45mAdc 
重 量 ：请参考表一 
结构材质 
主 体： 316SS 
传感器组件 ： 316LSS 
密封材质（” O ”型环）： Buna N ， EPDM ， Kalrez ? ， Neoprene ， Viton? 
过程连接： 316SS 

表 一