规格  

测量参数：R（直流电阻），I（直流电流），ps（表面电阻率），pv（体电阻率）  

数学功能：偏差和***偏差  

显示数字：3，4或5位（可选择）  

测试电压：0.1 ～ 1000Vdc  

　　　　　0.1 ～ 200Vdc时，以0.1V步进  

　　　　　0.1 ～ 1000Vdc时，以1V步进  

电压精度：≤200V时为0.16％+100mV  

　　　　　＞200V时为0.16％+500mV  

电流：≤100V时为10mA；≤250V时为5mA  

　　　　　≤500V时为2mA；≤1000V时为1mA  

电流相容性调定：0.5mA,1mA,2mA,5mA,10mA  

输出电阻：1KΩ±10％  

输入电阻：1KΩ±10％  

测试电缆长度：2 m　（值）  

测量范围和精度：  

直流电流：60fA～100uA 基本精度：±0.4％  

直流电阻：1×103 ～1.6×1016Ω　基本精度：±0.6％  

测量时间：短：10ms；中：30ms；长：390ms  

修正功能：  

开路误差为0：消除由测试夹具中杂散寄生电阻引起的测量误差  

测试序列程序：控制一系列电阻测量。充电时间、测量间隔时间和测量次数可以编程。  

比较功能：对测量参数设立高/符合/低界限  

接触检查功能：  

1、 可以检测测试夹具与器件之间的接触故障  

2、 可提供的被测器件（DUT）类型  

其它功能：  

1、 存储/调用：可以由内部非易失存储对10种仪器设置进进存储/调用  

2、 连续存储功能：若仪器被切断或发生电源故障，仪器设置将自动被存储起来  

3、 GPIB接口：所有控制设置，被测值和比较器信息  

一般指标  

电源要求：90 ～ 132V或198 ～ 264V，47 ～ 66Hz，45VAmax  

工作温度：0℃ ～ 45℃  

尺寸：320(宽)×100(高) ×450(长)mm  

重量：6.5kg