测量范围

二维表面轮廓测量

可选择三维测量以及数据分析

样品观测

可选择放大倍数，视场（FOV）范围：1~4mm

探针传感器

低惯性量传感器 （LIS 3）

探针作用力

LIS 3 传感器中 1~15mg

低作用力模式

N-Lite+  低作用力  0.03~15mg

探针选项

探针曲率半径  50nm~25um

高径比针尖（HAR）10um×2um 和200um×20um ；也可以采用客户定制针尖

样品 X/Y 载物台

手动 X/Y（4英寸）：100mm*100mm，可手动校平

自动 X/Y（6英寸）：150mm*150mm，可手动校平

样品 R/? 载物台

手动，360度连续旋转

自动，360度连续旋转

计算机系统

64位多核并行处理器，Windows? 7 系统；可选配23英寸平板显示器

软件

Version 64 操作分析软件，应力测量软件，悬臂偏转测试软件；

选配：缝合软件；3D应力分析软件；3D测量软件

隔振系统

多种隔振方案可供选择。

扫描长度范围

55mm （~2英寸）

单次扫描数据采集点

120，000

样品厚度

50mm (2英寸)

晶片尺寸

200mm (8英寸)

台阶高度重复性

<5?, 1sigma on 0.1μm step

垂直方向扫描范围

1mm (0.039英寸.)

垂直方向分辨率

分辨率可达 1?  (在6.55um测量范围内 

输入功率

100 – 240 VAC, 50 – 60Hz

温度范围

可以操作温度为 20 ~ 25°C (68 ~ 77°F)

湿度范围

≦80%，无凝结

系统尺寸和重量

455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H);

34kg (75lbs.);

隔离罩：550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H);

5.0kg (11lbs.)