Sumitomo碳化硅激光退火设备价格

产品特性：激光退火	加工定制：否	品牌：住友
型号：SWA-20US	用途：SiC晶圆激光退火	别名：激光退火炉

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Sumitomo碳化硅激光退火设备

一、设备简介

本装置作为***面向功率器件的激光退火装置，可用于SiC欧姆接触的生成，活性化等众多领域。在抑制非照射面温度上升的同时，高温加热SiC界面，并通过OPTSWING（高速扫描方式）实现欧姆接触的生成。

二、设备特性

通过搭载OPTSWING系统，驱动光束的移动进行扫描，实现高速扫描与高处理量。
小片到8寸晶圆均可对应。
搭载Top-hat Beam，确保界面内温度的均匀性。
通过温度模拟技术，调整退火条件。
工序气体管控。
各种监控机能（Beam形状等）

三、技术参数

设备型号	SWA-20US	SWA-20US-M
激光功率	10W	10W
光束尺寸	Φ100um	Φ100um
扫描方法	Galvano扫描	Galvano扫描
加工尺寸	4～8inch	10mm～6inch
光束模式	Top-hat	Top-hat
晶片搬送	全自动（机器人）	手动
处理能力	＞6片@6寸 OVL67/50	＞4片@6寸 OVL67/50
监控功能	激光功率、能量、光束轮廓	能量、光束轮廓
工艺气体	Air、N2、Ar等	Air、N2、Ar等
工艺温度	室温	室温
设备尺寸	W1450mm×D2900mm×H2300mm	W900mm×D1800mm×H2225mm

供应商信息

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[上海瞻驰光电科技有限公司] · [吉永商事株式会社] 是一家以半导体事业为核心经营内容的技术型、国际化商贸公司。集团以大阪总社为中心，营业据点遍布横滨、上海、北京、武汉等多个城市，服务于中国客户和日本原厂。主营产品包括多线切割机、研磨机、抛光机、减薄机、电子束光刻机、涂胶显影机、刻蚀机、镀膜机、热处理设备、单片清洗设备、金属剥离设备、划片解理机、排巴退巴机、贴膜撕膜机等设备，业务覆盖半导体材料加工、光电芯片、功率器件、滤波器、封装测试等领域。

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企业类型	有限责任公司(自然人独资)	注册资本	100.00万人民币
公司注册地址	上海市金山区枫泾镇环东一路65弄13号1477室	统一社会信用代码	91310116568007360P
登记机关	金山区市场监督管理局	法定代表人	李力钊
公司成立日期	2011-01-05	营业期限	2011-01-05 至无固定期限
经营范围	从事光电科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务，晶体材料，陶瓷材料，半导体材料，橡塑制品，化工原料及产品（除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品），光电设备及配件，半导体设备及配件，机械设备及配件销售，从事货物进出口及技术进出口业务。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】

联系方式

王女士

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上海瞻驰光电科技有限公司

地址上海上海长宁区延安西路726号华敏翰尊国际大厦22K

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