超高性价比的纳米领域研究利器。独特的三轴分离设计，既***了XYZ三个方向无耦合效应，从原理上消除了平面扭曲误差；同时独立的Z轴扫描器，实现了真正的非接触式扫描，***扩展了样品适用范围。自上而下的直视光路，方便用户对探针和样品的观察，专门设计的探针安装方式，简化了光路调整过程，降低了操作难度。

技术参数：

扫描器

XY扫描器

柔性制导闭环控制单模块扫描器

扫描范围10μm*10μm（可选50μm*50μm ，100μm*100μm）

平面偏移度:<2nm（40μm*40μm扫描）

Z扫描器

柔性制导***扫描器

扫描范围12μm（可选25μm）

共振频率：>5kHz

表面成像噪声：0.03nm

样品台

样品尺寸： 100mm*100mm*20mm

样品重量：500g

样品台移动范围：13mm*13mm

主要特点：

一、***的XY方向扫描，***消除了交叉耦合误差

●使用独立的闭环XY平板式扫描器和Z轴扫描器

●平板式的扫描扫描器，残留弯曲误差极小

●整个扫描范围内的水平线性误差小于2nm

●***的高度测量

二、Non-Contact?(真正非接触) 模式能够延长针尖寿命，提供高分辨率及保护样品

●Z伺服速度是压电陶瓷管的10倍

●非接触模式可降低针尖磨损、延长使用寿命

●成像分辨率优于同类原子显微镜

●增强样品兼容性，提高扫描精度

三、最丰富的功能拓展

●支持多种SPM模式

●支持多种选配测量模式

●支持各种可选配件，扩展性能优越

四、最为便利的使用设计

●开放式样品空间，提高样品及针尖更换效率

●预对准针尖安装和同轴直视光路直观地实现激光对准

●燕尾锁方便扫描头拆卸