| 品牌:TRION | 型号:Minilock-Orion III | 产品别名:等离子增强型化沉积系统 |
| 适用行业:微电子,半导体,研究机构 |
美国Trion Technology | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Trion始于一九八九年的等离子刻蚀与沉积系统制造商,Trion为化合物半导体、MEMS(微机电系统)、光电器件以及其他半导体市场提供多种设备。我们的产品在业内以系统占地面积最小、成本低而著称,且设备及工艺的可靠性和稳定性久经考验。从整套的批量生产用设备,到简单的实验室研发用系统,尽在Trion。 小批量生产用设备: 沉积 (PECVD) Minilock-Orion III是一套进的等离子增强型化学汽相沉积(PECVD)系统。 系统的下电极尺寸可为200mm或300mm,且根据电极配置,可以处理单个基片或带承片盘的基片(3” - 300mm尺寸),或者多尺寸批量处理基片(4x3”; 3x4”; 7x2”)。可沉积的薄膜包括:氧化物、氮氧化物、无定形硅和碳化硅。可以使用的反应气体包括:***硅烷、氨、TEOS、二乙基硅烷、氧化亚氮、氧、氮、***基硅烷和甲烷。 |
蓝星宇科技专业研发设计组装:紫外臭氧清洗机(UV清洗机),准分子清洗机,等离子清洗机等仪器设备。引进日本,德国,韩国***技术,设备已获得众多院校,研究所,高科技企业等客户一致认可。 同时我们专注进口科学仪器设备及材料,主要代理有:德国Nanoscribe 双光子微纳 3D 打印机(双光子飞秒激光直写仪),德国 Heidelberg 海德堡光刻机,美国 OAI 光刻机,德国 Raith 电子束光刻机,英国 Durtham 无掩膜光刻机,美国 Trion 刻蚀机.沉积机,德国 Sentech 刻蚀机.沉积机,德国 Optosol 吸收率发射率检测仪,日本 SEN UV清洗机.UV清洗灯,美国Jelight UV清洗机,美国 Nano-master 晶圆清洗机,美国 Arradiance 原子层沉积机,德国 WL 微波离子沉积机,德国 Iplas 微波离子沉积机,美国量子科学 Quantum 综合物性测量系统,德国 Diener 等离子清洗机等***技术产品;并可依据客户需求,研发定制相关仪器及材料。我们以***竞争力的价格为客户提供优质的产品与服务,为中国半导体/电子/光电/生物/***/高科技企业/高校学院/研究所/检测分析等高端客户提供设备仪器及材料。
点击查看>| 企业类型 | 有限责任公司 | 注册资本 | 100.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 深圳市宝安区沙井街道共和第四工业区A6栋761-772 | 统一社会信用代码 | 91440300789207446B |
| 登记机关 | 深圳市市场监督管理局 | 法定代表人 | 徐翠兰 |
| 公司成立日期 | 2006-05-17 | 营业期限 | 无限 |
| 经营范围 | 专业研发设计组装:紫外臭氧清洗机(UV清洗机),准分子清洗机,等离子清洗机等仪器设备。同时我们专注进口光刻机,刻蚀机,太阳能检测仪等仪器设备。 | ||

