集成系统设计

MEMS温湿度传感器集成系统包括三个传感器配件部分：处理器芯片、温湿度传感器以及封装结构。其中温湿度传感器对温湿度信号进行测量，处理器将测量数据进行存储与处理。温湿度传感器集成系统使用MEMS铂电阻温度传感器和电容式湿度传感器分别采样待测环境的温湿度。

1)MEMS温度传感器

MEMS微加工工艺制备的薄膜结构铂电阻传感器。由于铂的电阻率较高，灵敏度较好，因此经常作为温度传感器的感温材料。铂电阻温度传感器利用金属铂(PT)的电阻值随温度的变化而变化的物理特性制成温度传感器，广州传感器外壳，在实际测量中，一般将电阻值转换成电压或电流等模拟信号的变化，传感器外壳厂，再将模拟信号转换成数字信号，最 后交由微处理器转换成实际的温度值。

2)MEMS湿度传感器采用的湿度传感器为电容湿度传感器。两侧电极构成电容极板，中间的电介质采用湿度敏感材料。外界环境中的相对湿度对应了空气中的水分子的含量，当待测环境中的相对湿度发生变化时，空气中的水汽分子含量也会发生相应的变化。湿度敏感材料吸收水分子后的混合物的介电常数由于空气中的水汽分子含量不同而变化，传感器外壳生产厂家，即混合介质的相对介电常数与待测环境中的相对湿度相对应。

温度传感器有四种主要类型：热电偶；热敏电阻；电阻温度检测器；IC温度传感器：包括模拟输出和数字输出两种类型。

(1)热电阻式：热敏电阻由于体积小，灵敏度高，民期稳定性好等特点在医学领域的温度测量中使用非常广泛。可在珠状或薄片状的热敏电阻外加保护管套，例如将珠状热敏电阻封装在硬塑料、玻璃或金属套管中，用来测量口腔或直肠温度。薄片状的热敏电阻很适合测量皮肤温度，近年来发展的薄膜型热敏电阻可以做得非常薄，只有十几纳米，用它做测温元件，将有很好的发展前景。

(2)热电偶式：当有两种不同的金属组成回路时，若两个触点的温度不同，则回路中就有电流通过，称为温差电效应。热电偶传感器就是利用温差电现象制成的热敏传感器。它具有测温范围宽、性能稳定、准确可靠等优点，在医学领域应用十分广泛。

传感器外壳的动态分析：

拟合直线的选取有多种方法。如将零输入和满量程输出点相连的理论直线作为拟合直线；或将与特性曲线上各点偏差的平方和为z小的理论直线作为拟合直线，此拟合直线称为z小二乘法拟合直线。一种加速度传感器外壳，包括传感器本体及设置在所述的传感器本体下方的底板，所述的传感器本体与所述的底板为一体结构，传感器外壳定做，所述的底板呈长方形，且所述的底板上设有多个圆孔，所述的多个圆孔分布在所述的底板的四个角上。本实用新型使加速度传感器.

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