二手日本创技16B硅片磨抛机-硅片抛光机-硅片研磨机设备介绍

1.进口变频器配合变频电机拖动，实现了软启动，软停止，调速稳定，冲击小。 
2.采用二电机同步拖动，可选择游星轮的变速范围更广，能适用不同的研磨材料及研磨工艺的要求。 
3.单独电机抬升内齿圈，并在总行范围内随意停留，满足了取放工件及调整游星轮啮合位置的要求。通过调节太阳轮座上的三组不同的厚度的不锈钢片改变太阳轮高度，调整方法简便。 
4.采用国内***的防腐技术对齿圈座的下磨盘座进行处理，大大提高了其耐蚀性，继而也提高并能长期***底座安装精度。 
5.电气系统采用可靠性高的PLC实现。气动系统全部选用高品质的***元件，主气缸为精密低摩擦力气缸，压力调整采用高动态特性的进口电气比例阀元件。 
6.压力调整采用电气比例阀与拉力传感器实现了闭环反馈控制，其静态调整精度＜2Kg,动态压力波动＜30Kg。可提高工件尤其是薄形工件的加工稳定性，进而确保提高元件加工精度及合格率。 
7.人机界面（HMI）显示与PLC主控制器结合，一方面显示运行参数，另一方面通过其他触摸键调整设定各项参数，主操作由普通键钮完成。 
8.采用自动润滑装置，用户可根据自己的使用情况，设定自动润滑时间，使机器的各相对运动表面，齿轮啮合部位得到充分润滑，大大提高了整机的使用寿命。 
9.研磨机配置了高精度的测厚装置，工件加工的动态情况通过HMI随时可见。 
10.可根据用户的加工工艺要求，选装抛光液温度调节装置（单制或双制均可）。 

主要技术参数 

磨盘转速： 0~60rpm 
游行轮参数：公制M=3，Z=154，a=20° 
游行轮数量：5个 
最小研磨厚度：5/Φ200mm,0.4/Φ150mm 
可控研磨厚度：20mm（可根据要求特殊定制） 
研磨直径：Φ400mm 
主电机：15KW4级三相AC380V 
太阳轮电机：1.5KW4级三相AC380V 
内齿圈电机：1.5KW4级三相AC380V 
气源：0.5~0.7Mpa 
外型尺寸：2500×1650×3000mm 
机器重量：~7000kg 
砂泵电机（带搅拌）：4KWAC380V 
主机精度 
下研磨盘端面跳动：0.08mm 
淹没面平面度：0.02mm 
太阳轮径向跳动：0.20mm 
内齿圈径向跳动：0.25mm 

二手日本创技16B硅片磨抛机-硅片抛光机-硅片研磨机设备照片

二手机械库存明细

双面抛光机系列：

日本：hamai16B   speedfam16B  21B 28B  30B  40B 双面抛光研磨机

德国：Peter Wolters 319/320系列双端面抛光机

国产：金研/宇晶9.6B  9S 9B  13B 15B 16B 20B

镀膜机械系列：

日本：光弛OTFC-1300/1550/2350

德国：莱宝：1300

台湾：龙翩LP-1400/1650/1800

韩国：韩一 1200  联合2050

南光：1100/1300

检测仪器：

日本岛津UV-1800  UV-1900i UV-2600i分光光度计

日 立   ：2900/4000/4001/4150 光谱仪

二次元/三次元（2010/3020/4030.......）

一批二手仿形机120/175MM

一批无尘洁净台2.44*1.2*1.95米

一批10-13槽半自动超声波清洗机

一批DISCO自动切割机3350  3320