二、高温厌氧烘箱 厌氧固化烘箱 智能型聚酰亚胺化烤箱技 术 参 数   

1、设备名称

 高温无尘无氧烤箱

2、设备型号

 JS-MOY系列

3、设备主要技术参数                                                          

3.1 工作室尺寸

 W600mm×D600mm×H600mm可定制

3.2  材质

 外箱采用优质不锈钢，内箱采用SUS304不锈钢

3.3 温度范围

 RT+10-450℃

3.4 温度分辨率

 0.1℃

3.5 温度波动度

 ＜±0.5℃

3.6 温度均匀度

 ≤±1.5%

3.7 洁净度

 class 100，设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境

3.8电源及总功率

 AC 380V±10% / 50HZ       总功率约21.0KW    

3.9 升温速度

 可要求

3.10降温速度

 平均降温速度要求

3.11氧含量

 高温状态氧含量：≤ 50ppm +气源氧含量
 低温状态氧含量：≤ 100ppm +气源氧含量

4、系统结构

 4.1

  热

  风

  循

  环

  系

  统

 4.2

  气

  体

  系

  统

 4.3

  降

  温

  系

  统

 4.4

  温

  控

  系

  统

 4.5

  软

  件

  控

  制