Scribe Model 200-6适用于在6英寸晶圆上分割元件。功能强大的，无振动，操作简单，无需过多培训即可使用。包括数字十字准线的视频集进行垂直定向； LCD屏幕可显示参数，可通过编程轮进行选择。

磨削头

? Z轴运动，可调节角度

?可调节划线力从10gr到250gr，恒重

?金刚石工具：可调节角度和旋转

?刀具偏置，十字准线

?精度：±5μm

晶圆

?晶圆片直径6&＃39;&＃39;

?真空吸附

?框架/环形适配器

?电动夹头旋转

?夹头旋转对准，90度/可编程

?X Y轴/分辨率1μm; 精度±5μm

?无振动设计

?通过渐进式操纵杆控制运动

视觉系统

?光学放大倍率，与其他应用兼容

?视野：标准1mm

?TFT显示器17&＃39;&＃39;和CCD彩色高清摄像机

?目标发生器

?LED照明

参数

?步骤指数

?Y划线速度从1到100毫米/秒

?划线长度可编程

?重复划线

?划线数量

?多指数功能

?削减计数器

技术规格

功率：100 / 230VAC ，500 watt

气压：70psi

真空：60％

尺寸：650x700x500mm（26&＃39;&＃39;x28&＃39;&＃39;x20&＃39;&＃39;）

重量：70kgr。