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适合于研发和小规模生产中的单晶圆光刻胶加工。EVG101支持300mm的晶圆,可配置为旋涂或喷涂和显影。使用EVG***的OmniSpray涂层技术,在3D结构晶圆上实现光刻胶或聚合物的共形层,用于互连技术。

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  • 10000万

    ≥1套

王先生经理
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  • 发货地上海 浦东新区
  • 发货期限100天内发货
  • 供货总量10套
产品推荐
加工定制:是品牌:EVG型号:EVG101
用途:匀胶,旋涂,喷涂订货号:EVG101货号:EVG101
别名:匀胶机是否跨境货源:否晶圆尺寸:300mm
EVG101 匀胶机 匀喷胶机 光刻胶处理机

EVG101 匀胶机 匀喷胶机 光刻胶处理机

一、简介

研发和小规模生产中的单晶圆光刻胶加工。

EVG101光刻胶处理系统在单室设计上可以满足研发工作,与EVG的自动化系统完全兼容。EVG101支持300 mm的晶圆,可配置为旋涂或喷涂和显影。使用EVG***的OmniSpray涂层技术,在3D结构晶圆上实现光刻胶或聚合物的共形层,用于互连技术。这确保了高粘度光致光刻胶或聚合物的低材料消耗,同时改善了均匀性并防止了扩散。

 

二、技术参数:

晶圆尺寸:高达300mm(12寸)

支持模式:旋涂/ OmniSpray?/生长

晶圆支撑模式:单臂/双EE/边缘/翻动

分配模式:

- 各种分配泵,可覆盖高达52000cP的各种粘度

- 恒压分配系统

- EBR / BSR /预湿/碗洗/液体灌注

 

三、特征:

晶圆尺寸可达300 mm

自动旋涂或喷涂或使用手动晶圆装载/卸载进行显影

利用从研究到生产的快速简便的过程转换

成熟的模块化设计和标准化软件

注射器分配系统,用于利用小的光刻胶体积,包括高粘度光刻胶

占地面积小,同时保持高水平的个人和过程安全性

多用户概念(***数量的用户帐户和程序,可分配的访问权限,不同的用户界面语言)

选项:

 - 采用OmniSpray?涂层技术均匀涂覆晶圆的高表面形貌

 - 用于后续键合工艺的蜡和环氧树脂涂层

 - 旋涂玻璃(SOG)涂层




供应商信息
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岱美仪器技术服务(上海)有限公司 进入首页

岱美仪器技术服务(上海)有限公司成立于1989年,是一间拥有多年经验的国际性高科技设备分销商,主要为半导体、MEMs、光通讯、数据存储、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持,并与一些重要的客户建立了长期合作的关系。 自1989年创立至今,岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于中国大陆、香港、台湾、新加坡、泰国、马来西亚、菲律宾等地区。 主要产品包括有:晶圆键合设备、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、压力计、流量计、等离子电源、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、电容式位移传感器、振动样品磁强计 (VSM)、粗糙度检测仪、电镜 (SEM)、透镜 (TEM)、原子力显微镜 (AFM)、防振台系统、三维原子探针材料分析仪 (Atom Probe)、激光干涉仪、平面/球面大口径动态激光干涉仪、氦质谱检漏仪、紫外线固化仪、碳纳米管生长设备等。 岱美中国拥有八十多名训练有素的工程师,能够为各地区用户作出快捷、可靠的技术支持和维修服务;为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求,岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练,务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。 总部位于中国香港的岱美分别在新加坡、泰国、台湾、马来西亚、菲律宾及中国大陆(上海、东莞及北京)设立了分公司及办事处,以带给客户更快捷更**的销售及维修服务。 我们真诚希望和***的用户互相合作,共同发展!!

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企业类型 有限责任公司(台港澳法人独资) 注册资本 20.00万美元
公司注册地址 中国(上海)自由贸易试验区加太路39号第五层六十五部位 统一社会信用代码 91310000736202828J
登记机关 中国(上海)自由贸易试验区市场监督管理局 法定代表人 陈玲玲
公司成立日期 2002-02-07 营业期限 2002年2月7日至2022年2月6日
经营范围 磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
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    20.00万美元
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