RCR系列3 kW多坩埚旋转电子枪?

新的Thermionics研究能力系列3 kW多坩埚旋转e-Guns?，提供了增强的光束稳定性和***XY扫掠，并带有自动定位器提供的自动定位功能，可完全坩埚覆盖，需单独购买。

特征

• 真正的XY扫描，完全覆盖坩埚

• 源随附的扫频线圈

• 增强光束准直

• 插入式发射器模块

• 增强的高稳定性冷却

• 交叉污染屏蔽

• 坚固的设计

• 可选的自动索引器

 多坩埚电子枪的工作原理与单坩埚源相同，具有以下优点：

• 大量的蒸发剂—当每个坩埚都充满相同的原料时，可以在单个真空循环中蒸发增加体积的蒸发剂。

• 在一个真空循环中最多可以沉积八种不同的材料-在单个真空循环中，可以将不同的材料放入每个坩埚中，并以任意顺序沉积。沉积速率与单坩埚模型的沉积速率相同。一次仅加热一个坩埚。单根灯丝保持静止，坩埚头被驱动手柄转位。因此，蒸发总是源自真空室中完全相同的位置。不活动的坩埚通过磁极件与加热的坩埚隔离开，从而消除了坩埚之间的污染。

高真空兼容

金属和弹性体密封件，测得的基本压力：2 x 10 -9  托。

可互换坩埚

主坩埚轮可从源顶部卸下，而无需完全拆卸源。这种灵活性允许现场升级。

***商品

所有多个坩埚电子枪都可以单个或背对背安装在较大直径的ConFlat或矩形PyraFlat法兰上。

技术指标

安装配置

每个e-Gun?都有三种标准安装配置：

• e-Gun?安装在PyraFlat或ConFlat金属密封型法兰上，该法兰使用标准的OFE铜垫片

• 具有1“直径螺栓型安装座的e-Gun?，可通过1”直径孔安装，并通过压缩O形圈密封

• 单独的e-Gun?，没有安装法兰

请在下订单时***安装配置；费用  可能  不包括螺栓型或法兰型安装。

常规提供其他安装法兰，配置和几何形状，请致电工厂以获取更多信息。

订购信息

注意：SD表示侧面驱动器，BD表示底部驱动器