控制面板：

电流表：显示溅射电流值单位(mA)；

微调阀(充气阀)：用于向工作室内进行充气；
试验按钮：配合针阀设置，以便获得满意的溅射电流值（小于10mA）；
溅射按钮：当“实验”按钮电流小于10mA时，可以按“溅射”按钮，对样品进行离子溅射；
时间设定开关：控制离子溅射时间，定时开关10～110S；
电源开关：控制仪器机箱电源及机械泵的通断。

高纯石英真空腔体Φ130（内118）*130mm

样品台尺寸：Φ42mm                             

样品台可调高度：75mm    

电气规格

AC220V   120W

腔体尺寸

Φ130（内118）*130mm

样品台尺寸

高纯Φ42mm

样品台可调高度

样品台可调高度：75mm

样品温度

＜35~50℃

适用靶材

贵金属AU、Pt、Pd合金AU-Pt、AU-Pb 常规金属Cu、W、Ag 、Cr 等

溅射速度

一般来说，用于扫描样品时金属的厚度为100-300?,采用经验法测定厚度，可由下面的公式得到
d = KIVT
其中： d：是镀膜厚度(单位?)
K：是常数，取决于溅射金属和所充气体(采用金靶和氩气时K为0.17，金靶和空气K为0.07)，此时靶与样品之间的距离
I： 是等离子流(单位mA)
V：是所施电压(单位kv)
T“”是时间(单位s)。
例如采用金靶和氩气，l为8mA,T为100秒，V为1KV
则, d = KIVT = 0. 17×8×l×100 = 136?
即每秒1.36?
溅射速度依赖于溅射系统本身的清洁程度，因此保护工作室的清洁十分重要。
其它金属靶的溅射速度，例如铂靶大约是金靶一半的速度，金一铂靶则具有与金靶非常接近的溅射速度。

设备使用注意事项

1.靶材的更换
先拔下溅射盖板上高压和地线插头，拿下溅射盖板，松开三只顶丝，拿下保护板，然后拧下压环就可以更换新靶。
2.真空工作室清洗
腔体工作室用无水乙醇、丙酮清洗，以***系统能正常工作。
3、针阀使用
针阀关闭后再反向拧两圈，以防止针阀长时间不用出现阀针回弹不灵活的现象。如遇到打开针阀时不向工作室放气，请将针阀钮拧到底后再重新打开即可。

标配

1.NBD-4C真空泵； 

2 金靶1只：Φ58*0.12 

3.说明书一份.（可选配分子泵）

服务支持

一年保修，提供终身服务；

净重

25KG