热偶、电离复合真空计

型号：ZDF―Ⅲ

仪器资料：

◆概述：

ZDF―Ⅲ型系列电阻/电离复合真空计是基于低

真空测量电阻单元（ZJ-52T电阻规）与高真空测量电

离单元（ZJ-10电离规）技术组合，以完成1×105~1

×10-4Pa连续测量与控制。因此该真空计系列具有

电阻真空计与电离真空计所有技术参数与性能特

点；同时又增加了新的功能。该真空计系列具有两

种工作模式：手动模式与自动模式。手动模式工作

时，相当于独立的电阻真空计和电离真空计；自动

模式工作时，首先电阻单元进入测量，当电阻单元

测量真空度高于电离规可以开启的真空度时，电离

规灯丝自动被点亮（开启），并进入高真空测量，实

现了从大气压（常压）到高真空的自动连续测量。还

增加了外设（PLC）开闭电离规功能，以实现电离规

工作于zui佳真空环境，使电离规工作寿命zui大化。

部份机型采用了开关电源供电及开关直流电源驱功

稳定电离规灯丝发射电路，实现了高度集成无工频

变压器设计，实现了电离规灯丝冷态预热缓启功，

克服了电离规灯丝冷态启动过冲现象，延长了规管

寿命，实现了宽广的交流电源适应能力（AC/90V

~260V），实现了宽广的电缆线长度自适应能力

（3-30米）。是目前颖的电离规灯丝驱动稳定技

术。为适应真空设备自动化技术，并集成了强大的

继电器触点控制、串行通讯、真空模拟量等扩展功

能。特别适用于真空应用设备极限真空为10-2-10-

3Pa量级，工作真空为10-1-10-2Pa量级从大气压

（常压）至高真空的测量与控制。

◆技术参数：

*规管型号：电阻规ZJ-52T/电离规ZJ-10

*测量范围：连续测量（自动模式）1×105~1×

10-4Pa

独立测量（手动模式）电阻单

元1×105~1×10-1Pa；电离单元5~1×10-4Pa

*测量路数：1低1高

*控制范围：

电阻单元2.5×103~1×100Pa

电离单元5×100～1×10-

3Pa

*控制路数：4路可扩展至4或8路

*控制精度：±1%

*控制方式：继电器触点输出，负载能力

AC220V/3A（或DC28V/3A）无感负载

*去气方式：轰击去气

*仪器采样时间：1S

*电源：90-260V/50Hz或220V±10%50Hz

*功耗：55W

*重量：6Kg/5Kg/4Kg（视机箱尺寸而定）

*机箱尺寸：240×88×280或480×88×280

265×119×280或480×119×280

（宽×高×深）

◆性能特点：

*LED绿屏数字显示

*宽广的测量范围

*快速的反应速度

*微处理器修正规管非线性，减少了测量误差

*精密真空信号放大电路，稳定的零点和满度

*宽广的稳发射回路，自适应调节稳定电离规发射

电流

*全量程自动切换，无需手动换档

*超量程自动保护，不会因系统突然曝露大气而损

坏规管。

*光电隔离，数字滤波，优异的抗干扰能力，稳

定、可靠的真空测量

*功能化、模块化结构设计

*点控或区域控制，控制上、下限区间任意设定

*控制点掉电（失电）保护，记忆功能。

*简化功能按键，操作十分简单，不会因操作失误

而损坏规管或仪器。

*PVC彩色面板，外型美观大方

◆选配扩展功能及选件：

*选配功能:0～5/10V/10mV，0/4～10/20mA等

真空度摸拟量输出

*选配功能:打印机接口

*选配功能:RS232、RS485等单向或双向接口输

出

*选配功能:打印机接口

*规管接口选件：15.5外径玻规；15.5外径金属

直管DN16/25/35CF;DN10/16/25/40KF;NPT;VCR;G

管螺纹等接口

*线长选件:3米/5米/10米/15米/20米/25米/30

米......zui长至100米

◆说明：

1、电阻单元有效测量范围：3×103～5×10-

1Pa

1×105～3×103Pa及5×10-1～

1×10-1Pa测量值仅作参考。

2、电阻单元测量值（用干燥空气或氮气校准的

值）与气体成份有关，若需测量特殊气体的真空度，应选用其它相应型号的真空计。