火检探头SF810-FOC-IR-Q

格鲁克GHI100-T255L-01024           

格鲁克GHI100-T305L-01024 

伺服控制模件   SPHSS13

模件  SPASI23

端子单元电缆   NKTU01-25

阀位回讯器QN45K03SDM 

佳乐编码器G34900000230

阀位回讯器 QNTRK03SDM 

变频板：配V78114M51AS11A1  386A

电动执行机构MOE708M/386A

电动执行机构MOE708R 变频板 

电动执行机构MOE708S I/O板     

电动执行机构MOE708R I/O板

电动执行机构MOE708R 电源板 

变频板(老版本);764965 

I/O板（老版本)MME825

电动执行机构MOE712R  380V

电动执行机构MOE712S  

ASM位移传感器WS12-2500-420A-L10-M4-M12

AI模块SPFEC12

STONEL 限位开关 QX2VK05HDM

回讯开关（干簧管），Topworx，AV-TTP-1

限位开关，Topworx，TXP-P21GLEM0000N 

Foxboro卡件 FBM237/P0914XS

PH电极  TB557J1DB1T29

ABB涡街流量计密封板垫圈D333C126U01

ABB涡街流量传感器D693B082U02-J 

油泵 1PF2G2-4X/004RC020MB

PH型号5613-5F(DKK)

REXA 控制器  P97900-D

PH电极   TB557J3EB1T29

电导电极  AC221/211131/STD（K=0.01）

钠电极   AW501 030

1.jpg

系统概述

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

常用于对半导体、光伏、电子、精密光学等行业的纳米表面处理。

系统原理

通过电子枪发射高压电子轰击坩埚中的待镀靶材，使其在高真空下蒸发并沉积在被镀基片上以获得镀膜。

系统配置

*自动化控制器: e-Control PLC，是控制系统的核心硬件平台。

*人机界面硬件: TPC1503工业15寸触摸式平板电脑，稳定可靠。

*人机界面软件: NETSCADA组态软件开发平台，提供真空镀膜机的控制和监视。

2.png

系统评价:

*提供多达99层一次成膜支援；

*自动倒幕翻转，可实现双面镀膜；

*支持Excle导入靶材、设备参数、工艺参数等；

*支持电子枪像素点数量自定义控制，实现靶材的无缝隙加热控制；

*针对不同加热段，采用不同蒸镀模式，***熔料均温的同时，***熔料效率；

*一键式启动，从启动到生产结束只需轻点一下鼠标，各种生产流程自动完成；

*批号式数据管理方案，实时自动保存生产信息，对生产数据有据可查；

*网络化方案，提供远程组网端口，轻松实现远程多系统集中控制和管理；