二手日本创技半导体专用减机  硅征双面抛光研磨机介绍

本机适用于硅片、石英晶片、陶瓷片、砷化钾片及其它硬脆材料的双面精密研磨加工。

主要特点：

  1.进口变频器配合变频电机拖动，实现了软启动，软停止，调速稳定，冲击小。
  2.采用二电机同步拖动，可选择游星轮的变速范围更广，能适用不同的研磨材料及研磨工艺的要求。
  3.单独电机抬升内齿圈，并在总行范围内随意停留，满足了取放工件及调整游星轮啮合位置的要求。通过调节太阳轮座上的三组不同的厚度的不锈钢片改变太阳轮高度，调整方法简便。
  4.采用国内***的防腐技术对齿圈座的下磨盘座进行处理，大大提高了其耐蚀性，继而也提高并能长期***底座安装精度。
  5.电气系统采用可靠性高的PLC实现。气动系统全部选用高品质的***元件，主气缸为精密低摩擦力气缸，压力调整采用高动态特性的进口电气比例阀元件。
  6.压力调整采用电气比例阀与拉力传感器实现了闭环反馈控制，其静态调整精度＜2Kg,动态压力波动＜30Kg。可提高工件尤其是薄形工件的加工稳定性，进而确保提高元件加工精度及合格率。
  7.人机界面（HMI）显示与PLC主控制器结合，一方面显示运行参数，另一方面通过其他触摸键调整设定各项参数，主操作由普通键钮完成。
  8.采用自动润滑装置，用户可根据自己的使用情况，设定自动润滑时间，使机器的各相对运动表面，齿轮啮合部位得到充分润滑，大大提高了整机的使用寿命。
  9.研磨机配置了高精度的测厚装置，工件加工的动态情况通过HMI随时可见。
  10.可根据用户的加工工艺要求，选装抛光液温度调节装置（单制或双制均可）。

主要技术参数

研磨盘尺寸：920*280*40mm

磨盘转速： 0~60rpm
游行轮参数：公制M=3，Z=153，P=12°
游行轮数量：5个
***小研磨厚度：5/Φ190mm,0.4/Φ150mm
可控研磨厚度：20mm（可根据要求特殊定制）
研磨直径：Φ290mm
主电机：7.5KW4级三相AC380V
太阳轮电机：1.5KW4级三相AC380V
内齿圈电机：1.5KW4级三相AC380V
气源：0.5~0.7Mpa
外型尺寸：2100×1650×2500mm
机器重量：~3000kg
砂泵电机（带搅拌）：4KWAC380V
主机精度
下研磨盘端面跳动：0.08mm
淹没面平面度：0.02mm
太阳轮径向跳动：0.20mm
内齿圈径向跳动：0.25mm
加工精度（四个修正轮修研后）
一致性：0.008mm
平面度：0.005m
平行度：0.006mm
加工能力
单片承片量：Φ1704片，Φ2002片
整盘承片量：Φ7020片，Φ2001

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