滨州市LRO-2000型电子工业超纯水设备

重庆沃蓝水处理设备有限公司

滨州市LRO-2000型电子工业超纯水设备

重庆超纯水设备水质标准：

    我公司半导体行业用超纯水出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准（18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准）、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

重庆超纯水设备的工艺流程：

1、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→产水(≥18MΩ.CM)

2、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→***级反渗透(正电荷反渗透膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)

3、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)

4、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→混床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)

滨州市LRO-2000型电子工业超纯水设备

高纯水设备电子工业中，生产单晶硅半导体材料、二极管、三极管、集成电路、光、硬盘、显象管时，都需要达到电子级标准的工艺用水，在我国，电子级水共分五个级别，部分指标如下：