主要用途:本机主要适用于硅片、石英晶片、光学晶体、玻璃、宝石、铌酸锂、砷化钾、陶瓷片等薄脆金属或非金属的研磨或抛光。
机械参数
1 游星轮及工件
 工件尺寸 Φ500
　　 游星轮数量 最多 5 个
 游星轮自旋和相对运动，而这种运动是可控的。
2 上研磨盘
 外径、内径和厚度 Φ1560 x Φ300 x 65 mm
 材料 FC or FCD
 研磨液喷管数量 192 EA
 垂直行程 480 mm
3 下研磨盘
 外径、内径和厚度 Φ560 x Φ300 x 65 mm
 材料 FC or FCD
 主旋转轴轴承类型 液体静***承和球轴承
4 酞阳齿轮
 齿数 M6 x 135EA
 材料 SUS 304
 垂直行程 40 mm
5 内啮合齿轮
 齿数 M6 x 495EA
 材料 SUS 304
 垂直行程 50 mm
6 抛光盘转数 [ 60Hz / 50Hz ]
　　 上抛光盘转数 0 26 R.P.M 
　　 上抛光盘转数 0 35 R.P.M 
　　7 酞阳齿轮转数 0 17 R.P.M 
　　 内啮合齿轮转数 0 12 R.P.M 
8 Reducer Tsubaki
9 抛光压力控制 计算机多级控制系统
10 抛光液分配器材料 SUS 304
11 上抛光盘连接系统 万向连接机构
12 上抛光盘防落下 自动锁机构
13 Splash Guard Cover & Door
14 控制系统和操作盘 PLC 触摸屏(Pro-Face)
15 气压 10 bar
17 设备尺寸 2760×3230×4030H
18 设备重量 约 26吨
19 设备颜色 象牙白（Ivory）
电气参数
No. Item Description
1 电源 AC220V / 3Φ / 60Hz
 额定电力 55 kVA
 额定输入电流 250A
2 电机 (4台)
 下抛光盘驱动电机 6P / 200L / 20Kw  [变频控制]
 上抛光盘驱动电机 4P / 180L / 15Kw  [变频控制]
 酞阳齿轮驱动电机 4P / 132S / 5.5Kw [变频控制]
 内啮合齿轮驱动电机  4P / 160M / 7.5Kw  [变频控制]
3 抛光浆供应泵 [200/220 VAC , 3Φ , 0.25Kw] x 2
 抛光浆搅拌电机 200/220 VAC , 3Φ , 0.2Kw
4 控制电源 24 VDC
5 液压泵电机 200/220 VAC , 3Φ , 0,4Kw
6 润滑系统 200/220 VAC , 3Φ , 0.4Kw
7 变频器/控制器 三菱（Mitsubishi）