一般用于材料及产品的应力释放，特别是晶圆或者微电子材料的应力释放。在高温环境中，半导体及金属材料极易氧化，所以需要抽真空与充氮气联动加以保护。同样的这些材料也更容易受到灰尘污染，100级甚至更高的洁净度可保护这些材料不被污染。

型号 

ZK-DQKX-072

ZK-DQKX-270

ZK-DQKX-480

ZK-DQKX-600

ZK-DQKX-720

ZK-DQKX-1000

内箱尺寸

40×45×40

60×90×50

80×100×60

100×100×60

100×120×60

100×100×100

W×H×D (cm)

外箱尺寸

72×116×56

93×163×67

110×172×77

130×172×77

116×170×116

116×150×166

W×H×D(cm)

温度范围

室温+25℃～200℃（300℃） RT+25℃～200℃(300℃)

温度波动度

±0.3℃

温度均匀度

±1%℃

解析精度

0.1℃

氧气浓度

0-2000 PPM

升温时间

 30分钟

外箱材质

冷轧板+烤漆

内箱材质

SUS#201不锈钢板（200℃以上材质为SUS#304不锈钢板）

隔热材质

玻璃棉

循环系统

离心风机风循环系统

加热系统

SUS#不锈钢高速加热器

控制系统

按键式数显控制器

氮气系统

流量计+压差表（选配氧气分析仪）

附件

控制状态指示灯，隔层架（2个，高度可调）

安全装置

相序保护，超温，过流，过载                                                                                                            

电源

AC 3Ψ 380V 60/50Hz

定制服务

非标特殊要求，可定制

结构设计：

A、材质：内部采用不锈钢板制造，外部SS41钢板铁材加防锈处理及粉体烤漆

B、保温：采用高密度100K的耐高温保温棉﹐六面保温绝热。

C、门   ：单开门式,美式全开后钮，门四周皆装置耐高温硅胶迫紧,坚固耐用.   

D、换气装置：换气量采用全进全出可调式风门,可直接与排风管连接.

E、机台滑轮：采滑轮移动调整摆放位置与***螺栓固定位置

F、箱内盘架：标配可活动调整栅盘架或不锈钢条状栅盘二只

G、送风系统：***耐高温烤箱专用马达，配合多翼式风轮高速运转及单面水平送风循环,温度均匀。

H、电热系统：采用覆套式电热器无尘化电热发生器，低辐射热不易氧化，耐用期限5～10年。

产品特点：

1. 内外箱材质：外箱为钢板烤漆 内胆为镜面不锈钢

2. 保温材质： 高效压缩玻璃棉

3. 保温装置： 无熔丝开关，超温保护开关，瓷质保险丝

4. 配 件： 可调隔层板2-6件

5. 电 源： 3ф380VAC±10%或2ф220VAC±10%在地

6. 风机延时断电功能(可另购配程控)

7.高温氮气烘箱保险装置: ***次超温报警,***次超温切电功能,MCCB过载保护,温度自整定,电热鳍片式散热管形电热管

8. 运风系统： 强制送风循环系统及特别设计出风口,温度分布均匀度特佳

9. 控制形成 ：温度到达设定温度后自动打开时间计,时间到达后切断发热电源,蜂鸣提示