产品参数

内部直径0.8米高度1米

水冷不锈钢炉体 日本单电子枪和离子源

双300扩散泵+英国爱德华罗茨泵+机械泵，配阻蒸，镀AR,AF都可以。英富康310晶控单探头

真空性能：5×10-4Pa,

抽速：大气到5×10-3Pa小于10分钟，

升压时间：1×10-3Pa到1×10-1Pa大于10分钟

转动夹具：球面或平面，5-20转/立式公转夹具

特点：

1.大抽速真空系统加配深冷装置，***的动态真空能力，满足高效率生产的要求。

2.装载量更大，如需镀制大尺寸平面产品，可配备平面夹具

3.配备为该系列镀膜机特殊设计的单电子枪，可使膜料面平整无坑、确保蒸发分布稳定。

4.可配置在线反射率监控系统，产品一致性好。

适用范围

用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜