Heidenhain角度编码器

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Heidenhain角度编码器圆光栅(circular grating) 载体为圆形的光栅。有径向光栅和切向光栅两种。径向光栅的栅线之延长线全部通过同一圆心；切向光栅的全部刻线与一个同心小圆相切，该小圆半径很小，只有零点几到几毫米。圆光栅主要用来计量转动的角位移量，且多用透射式的圆光栅的结构

刻画在玻璃盘上的光栅称为圆光栅，也称为光栅盘，用来测量角度或角位移。根据栅线刻画的方向圆光栅可分为两种：一种是径向光栅．其栅线的延长线全部通过光栅盘的圆心；另一种是切向光栅，其全部栅线与一个和光栅盘同心的直径只有零点几毫米或几毫米的小圆相切。圆光栅的莫尔条纹

Heidenhain角度编码器圆光栅的莫尔条纹

我们把两块角栅距相接近的圆光栅面对面叠在一起时，在光线的照明下，能看到按一定规律分布的明暗相间的条纹，这种条纹称为圆光栅的莫尔条纹。

近年来，利用圆光栅产生莫尔条纹的这一特性成功地研制了高精度和高分辨率的圆分度设备。

由于从圆光栅中能取得近似正弦的莫尔条纹光电信号，因而通过电子学方法可以把位移量转换成数字信息量、模拟信息量、数字和模拟相结合的信息量，这就给自动测量和控制角位移提供了条件。已经成功地把圆光栅用在测量滚齿机的传动链精度、自动 校准滚齿机的传动误差、动态测量齿轮误差、控制圆分度机、测量光学玻璃的折射率、测量角速度 以及自动测量和控制角位移的设备上 [3]  。

圆光栅是一种在玻璃圆盘表面的一个圆环形区域上刻有大量均匀分布的、透明和不透明相间的圆分度元件，由于其刻线呈辐射状的，又称辐射光栅。

RCN 2001 and RCN 5001 series

Absolute angle encoders

System accuracy of ±2” / ±4”

Integrated stator coupling and temperature sensor

Hollow through shaft

High permissible shaft speeds

Available with functional safety

圆光栅的刻划和复制刻划

我们刻划圆光栅一直采用接触复印法。所谓接触复印法，就是圆光栅的刻线，不是通过光学成象镜头缩微光刻所得，而是由模板与涂有感光胶膜的工件直接接触曝光潜影显象所得。这样刻制的圆光栅线纹质量好、效***，同时也能提高制造圆光栅的精度。接触复印法制造圆光栅是在圆刻度机上进行的，圆光栅刻划机 是由圆刻度机改装而成。取掉圆刻度机原来的刻划刀架，在其刀桥上安装一个光刻刀架。光刻刀架由光源(脉冲氛灯) 、柱面镜和装有单线或扇形模板抬落的“小船”组成。

Heidenhain角度编码器

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