过滤器——也叫油雾分离器；用于真空泵排气，主要作用为分离油气，使真空泵油正常回油；排气过滤器失效容易导致：真空泵冒烟、喷油、噪音大等问题；

   进气过滤器——也叫空气滤芯；用于真空泵进气过滤，主要作用是防止空气中的部分大颗粒、或者有损害真空泵性能的气体进入泵体；进气过滤器失效能以导致真空泵卡死、噪音大、真空泵不足等；

   油过滤器——也叫油格，油格主要是过滤真空泵油，把部分杂质和沉淀物分离，稳定真空泵性能，让真空泵正常回油。真空泵油过滤器失效容易导致真空泵喷油、真空度不足、噪音大、设置真空度不足，高温等