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SFM5400-5slm数字信号质量流量计Sensirion盛思锐

SFM5400-5slm

SFM5400-5slm数字信号质量流量计Sensirion盛思锐
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Sensirion盛思锐 质量流量控制器 SFM5400

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产品特性：质量流量品牌：Sensirion盛思锐型号：SFM5400-5slm
传感器类型：质量流量控制器监测范围：50sccm~100slm精度：0.8%
输出电压：10V电源电压：5V系列：SFM5400
特性：流量计安装类型：插件最小包装数：1
应用领域：测量仪器
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SFM5400-5slm数字信号质量流量计Sensirion盛思锐

SFM5400-5slm数字信号质量流量计Sensirion盛思锐

质量流量控制器 SFC5400

针对多种应用的多功能控制器

SFC5400质量流量控制器以优异的精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量，覆盖宽动态测量范围。SFC5400可高度配置，其外壳由金属制成。此外，流量控制器可使用各种电气接口和各种流体连接件，测量50 sccm到200 slm的流量。传感器信号可在芯片上直接转换成***校准和经温度补偿的数字信号。多气体校准可存储在单个器件上。此外，流量控制器还可检查激活的气体校准与实际气体是否匹配。SFC5400的通用性使之成为了工业和医疗应用的理想解决方案。

SFC5400质量流量控制器与所有传感器产品一样，依赖创新的CMOSens? 技术，在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感器元件及模拟和数字处理电路，可***优异的性能。配合优质材料，SFC5400可实现持久稳定、快速和高度***的流量控制。

SFC5400质量流量控制器也提供无阀版本。SFM5400质量流量计与质量流量控制器具有相同性能特性，可用在类似应用当中，SFC5400和SFM5400可***组合在一起。

性能参数

  • 超快速气体流量控制（稳定时间＜100 ms）

  • ***流量测量时的高精度（＜ 1sccm）

  • 出色的长期稳定性和可靠性

  • 无老化效应

  • 宽动态范围（量程比1000:1）

  • 多气体配置

  • 高配置

  • 源于CMOSens?技术的极高性价比

  • 数字和模拟接口

  • 灵活机械连接选项：向下安装、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等。

应用

  • 分析仪器  （如气相色谱、质谱、热分析）

  • 医疗器械  （如呼吸机、麻醉机）

  • 工业过程自动化  （如涂覆、热处理）

  • 半导体行业  （如等离子蚀刻工艺、薄膜沉积）


气体质量流量控制器

Senisirion是您的可靠合作伙伴，凭借我们前瞻式及以顾客为中心的供应链管理，交付周期得以保障。

多功能SFC5400适用于工业和医疗相关应用，多种配置满足您的确切需求。

SFC5500 系列现提供配有多气体校准的质量流量控制器。

Sensirion气体质量流量控制器在宽动态范围快速而***控制气体流量。得益于创新的Sensirion?技术，质量流量控制器的核心是热式微传感器（MEMS），芯片上集成了完整的信号处理电路。流量测量采用热式原理，高效控制由模拟控制电路实现。这种独特的集成技术以有吸引力的成本实现***的性能和可靠性。


Sensirion 氣體質量流量控制器概覽


SFC5400SFM5400SFC5300SFM5300
Flow range50, 100, 200, 500 sccm;
1, 2,5,10 slm		20, 50, 100 slm50, 100, 200, 500 sccm;
1, 2,5,10 slm		20, 50, 100 slm50, 100, 200, 500 sccm;
1, 2,5 slm
Repeatability, % of reading0.1% s.p.0.2% s.p.0.1% s.p.0.2% s.p.0.2% s.p.
Repeatability, % of full scale0.01% FS0.02% FS0.01% FS0.02% FS0.02% FS
Accuracy, % of reading0.8% s.p.1% s.p.0.8% s.p.1% s.p.2% s.p.
Accuracy, % of full scale0.08% FS0.1% FS0.08% FS0.1% FS0.2% FS
External leak rate9 x 10-9 mbar l/s (He)10 x 10-6 mbar l/s (He)9 x 10-9 mbar l/s (He)10 x 10-6 mbar l/s (He)1 x 10-6 mbar l/s (He)
Leak rate through closed valve1 x 10-6 mbar l/s (He)1 x 10-6 mbar l/s (He)not applicable for SFMnot applicable for SFM1 x 10-6 mbar l/s (He)not applicable for SFM flow meter version
Pressure drop at max full scale<2 bar<3 bar<0.1 bar<1 bar<2 bar<0.1 bar
Settling time for OEM50 msnot applicable for SFM flow meter version50 msnot applicable for SFM flow meter version
Settling time, typical100 msnot applicable for SFM flow meter version100 msnot applicable for SFM flow meter version
Control range1000:1 (digital interface)not applicable for SFM flow meter version1000:1not applicable for SFM flow meter version
Communication interfacedigital(RS485, IO-Link, DeviceNet) and analog (0 to 5 VDC, 0 tp 10 VDC or 4 to 20 mA)digital (RS485 & IO-Link)
Real gas calibrationAir/N2, H2, O2, He, Ar, CO2
Gas conversionSF6, CF4, C4F8, NH3, N2O, CO, CH4, CH3F, Xe, Ne, Kr, and other gases on request
Nominal power supply14.0 to 26.0 VDC
Electric connectorD-Sub, 9 Pin
Mounting, gas connectorDownmount, Swagelok, VCR, VCO, Legris, UNF ThreadDownmount
Max working pressure10 bar
Operation temperature0 to 50 °C/32 to 122 °F
Gas type switchable by softwareon request



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深圳盛思瑞创科技有限公司是多年经营电子元器件的分销商，并集产品方案推广、技术支持、销售服务为一体的销售型公司，公司专注于微控制器、传感器 、连接器、电位器等 在仪器仪表、工控医疗、安防通讯、汽车电子等各领域的设计开发应用，以及整体产品技术解决方案的推广。 深圳盛思瑞创科技有限公司主营系列品牌：Honeywell、All sensors、Freescale、SMI、GE Nova sensor、Sensirion压力传感器， PNI地磁传感器(ASIC驱动控制器MagI2C芯片13156 Sen-XY轴传感器13104 Sen-Z轴传感器)、电子罗盘TCM-XB PN12810，iSentek爱盛地磁传感器IST8308 IST8310 IST8315；Positronic、ERNI连接器，Posifa流量传感器、真空传感器。

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企业类型 有限责任公司 注册资本 100.00万人民币
公司注册地址 深圳市福田区华强北街道华航社区中航路18号新亚洲国利大厦3层N3A043 统一社会信用代码 91440300MA5G9TBE3H
登记机关 福田局 法定代表人 汤波
公司成立日期 2020-07-13 营业期限 2020-07-13 至 无固定期限
经营范围 一般经营项目是：电子元器件、电子产品、仪器仪表的技术开发，技术支持与销售；国内贸易；货物及技术进出口。（法律、行政法规、国务院决定规定在登记前须批准的项目除外），许可经营项目是：无
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  • 地       址 广东 深圳 龙岗区 坂田街道中兴路11号新塘智慧园
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