| 是否进口：是 | 原产国/地区：美国 | 加工定制：是 |
| 品牌：那诺-马斯特 | 电镀位置：溅射和蒸发 | 镀种：真空镀膜 |
| 镀膜原理：溅射镀膜 | 型号：NSC-3500（A） |
NSC-3500（A）全自动磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，可达到6"旋转平台，支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-3500（A）带有14”立方形不锈钢腔体，3个2”的磁控管，DC直流和RF射频电源。 在选配方面，350 l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。
NSC-3500（A）全自动磁控溅射系统产品特点：
不锈钢腔体
260l/s或350l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
带观察视窗的腔门易于上下载片
基于LabView软件的PC计算机控制
带密码保护功能的多级访问控制
完全的安全联锁功能
预真空锁以及自动晶圆片上/下载片
选配项：
RF、DC溅射
热蒸镀能力
RF或DC偏压（1000V）
样品台可加热到700°C
膜厚监测仪
基片的RF射频等离子清洗
应用：
晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
光学以及ITO涂覆
带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
带RF射频等离子放电的反应溅射
上海耀他科技有限公司是一家高新科技公司，服务大中华地区(包含中国大陆，香港，台湾和澳门)的客户，专注于为高校、研究所、企业研发及FAB厂提供技术咨询、产品销售和售后技术支持。 上海耀他科技有限公司主要产品包括薄膜工艺系统、表面分析检测系统以及其他微纳尺度工艺所涉及的相关系统。在薄膜工艺系统领域，产品覆盖薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备等，典型的工艺系统涉及PVD物***相沉积（磁控溅射、热蒸镀、电子束蒸镀）、CVD化学气相沉积（PECVD、ALD、PA-MOCVD）、干法刻蚀（RIE、ICP、DRIE、IBE、RIBE）、晶圆/掩模版清洗系统（单晶圆清洗、兆声清洗），应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。在表面分析检测领域，产品涉及用于材料表面分析应用的飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）、用于气体分析的电子电离质谱（TOF-MS）等。
点击查看>| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 公司注册地址 | 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号6幢101室JT4602 | ||
| 统一社会信用代码 | 91310114MABTYCA99H | 登记机关 | 嘉定区市场监管局 | ||
| 法定代表人 | 张文闯 | 公司成立日期 | 2022-07-06 | ||
| 营业期限 | 2022-07-06至2042-07-05 | 经营范围 | 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；软件开发；计算机系统服务；广告制作；广告发布；广告设计、代理；企业形象策划；专业设计服务；企业管理咨询；市场调查（不含涉外调查）；图文设计制作；项目策划与公关服务；会议及展览服务；信息技术咨询服务；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；组织文化艺术交流活动；互联网销售（除销售需要许可的商品）；电子产品销售；计算机软硬件及辅助设备零售；实验分析仪器销售；仪器仪表销售；机械设备销售；半导体器件专用设备销售；第一类医疗器械销售；货物进出口；技术进出口；电子元器件与机电组件设备销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）许可项目：建设工程施工；网络文化经营。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准） | ||
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