光电扫描

海德汉的大多数光栅尺采用光电扫描原理。

光电扫描为非接触式扫描，因此无磨损。

光电扫描可以检测到非常精细的光栅，栅

线宽度仅数微米，生成的输出信号的信号

周期非常细小。

ECN、EQN、ERN、ROC、ROQ和ROD旋

转编码器采用成像扫描原理。

简单地说，成像扫描原理是用透射光生成

信号；例如用两个栅距相同栅状结构（栅

尺与扫描掩膜）彼此相对地运动。扫描掩

膜为透明基体。测量基准上的栅状结构可

在透明面上，也可在反光面上。

当平行光穿过光栅时，投影形成一定间隔

的明/暗光影区。栅距相同的扫描光栅位于

栅状结构投影的成像位置。当这两个栅状

结构相对运动时，调制入射光：如果狭缝

对齐，光线通过。如果一条光栅的栅线与

另一条光栅上的狭缝对齐，光线无法通

过。光电池将这些光强变化转化成近似正

弦波形的电信号。采用成像扫描原理的编

码器可用较大的安装公差，最小栅距可达