产品介绍

产品描述

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  SLC系列的线性SMAR滑块平台基于带有交叉滚子轴承的线性滑块。SLC载物台的特点是紧凑性、高刚性和直线度。它们非常适合稳定性和高精度是重中之重的定位系统。可选地，这些载物台有专门的版本，用于高真空和超高真空，也可以以不同的材料组合制造。SLC线性平台有两种不同的系列，主要区别在于宽度和高度。

  
  

产品实拍

产品作用：对于AFM等扫描应用，SmarAct提供具有扫描速度和最小扫描误差的SMARFLEX扫描平台。同样在光学显微镜领域，可以***地设置焦点，可以非常***地倾斜反射镜或耦合光纤。

PLF产品系列提供具有不同扫描方向的高精度SMARFLEX压电扫描仪。它们可以很容易地组合成多轴扫描系统。

产品作用：SLT-1213微型低温线性载物台，低温***倾斜镜支架

SL系列线性定位器超紧凑，专为要求***小型化的设置而设计。在保持其微型尺寸的同时，定位器提供相对较长的行程范围，并且可以组合以构建复杂的多轴系统。SL 系列定位器宽 11 mm，高 5.2 mm。

产品特色

• 产品作用：

• SR-4513 旋转平台具有方形底座，并具有直径为 8 mm 的自由孔径开口。

• 与其占地面积相比，它的高度相对较低。这使得将此平台集成到平面定位系统中变得容易。它具有坚固的不锈钢轴承，还提供高真空版本。

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企业介绍

企业简介：

 您是否正在寻找创新产品来推进您在高精度技术领域的应用？无论是定位技术、计量还是自动化技术，我们都是您的合适合作伙伴。

您对我们能力和共同成功的信心使我们的团队发展到200名高技能成员。

我们不断增长的产品组合包括经过验证的产品和/或系统，可满足您的各种需求。此外，我们擅长设计适合您需求的特殊设备，并以简单快速的方式实施它们。我们通过建立三个业务部门来加强这些能力。

在我们的运动业务部门，我们开发和生产高精度、紧凑的纳米定位产品，满足要求，同时易于操作。我们的产品类别包括：

SMARSLIDE——压电定位平台，定位范围从几毫米到一米以上，也可以在***环境条件下使用

SMARSHIFT – 快速且高精度的电磁定位平台

SMARFLEX – 基于合规结构的高分辨率动态扫描仪

SMARBOTIC – 具有多个自由度的复杂定位系统和机器人

我们的计量业务部门提供用于高分辨率位置位移测量的组件和解决方案，以及用于组件表征和故障分析的工具。我们的测量系统是：

皮克刻度干涉仪 – 具有皮米分辨率的紧凑型激光干涉仪

METIRIO – 小型化光学编码器;也适用于苛刻的环境条件

我们的组件表征解决方案包括：

皮克SCALE测振仪，用于检测面内和面外振动，分辨率为pm分辨率

SMARPROBE – 纳米探测平台，允许突破晶圆、ASICS 和 MEMS 故障分析技术可行性的极限。

在我们的自动化业务部门，我们在自动化生产小型化组件和系统（如光学和光电组件）的各个方面为您提供支持。我们设计和生产高通量生产设备，包括开发生产工艺（如果需要）。当然，包括在您的现场安装和调试我们的系统以及通常的SmarAct服务。

公司产品

运动产品

线性平台

SmarAct的产品组合包括多个线性定位平台系列。每条生产线的开发都考虑到了客户的要求。不同产品系列的组件之间的完全兼容性允许选择具有特定关键功能的阶段，以将它们组合成复杂的多轴系统。

SLC系列的线性滑块平台基于带有交叉滚子轴承的线性滑块。SLC载物台的特点是紧凑性、高刚性和直线度。它们非常适合稳定性和高精度是重中之重的定位系统。可选地，这些载物台有专门的版本，用于高真空和超高真空，也可以以不同的材料组合制造。SLC线性平台有两种不同的系列，主要区别在于宽度和高度。

型号：SLC-1720，SLC-1730，SLC-1740，SLC-1750，SLC-1760，SLC-1770，SLC-1780。

SLC-24系列的线性平台（类似于SLC-17系列）也非常坚固，因此非常适合稳定性和高精度是重中之重的微纳米定位系统。它们的尺寸为宽 24 毫米，高 10.5 毫米，比 SLC-17 更宽，但更坚固。它们的高直线度即使在长行程范围内也能实现***定位精度。为了进一步提高机械负载能力，可以使用U形底座。然而，用于微和纳米定位任务的位置传感器可以选择集成到每个阶段中，而不会影响外部尺寸。可选地，这些载物台有专门的版本，用于高真空和超高真空以及在低温条件下运行。这些载物台可以以不同的材料组合制造。对于长度在 30 到 75 mm 之间的 SLC-24 级，可提供用于闭环操作的低温版本。每当出现有关兼容性，规格和定制的问题时，随时欢迎您与我们联系。

型号：SLC-2430,SLC-2445,SLC-2460,SLC-2475,SLC-2490,SLC-24105,SLC-24120,SLC-24150,SLC-24180,SLC-2430。

CLS系列的SMARSLIDE线性平台是高可用性应用中多轴设置的选择，因为它们配备了可更换的驱动单元，以确保快速简便的现场维修。

它们与SmarAct模块化系统的严格兼容性使其能够轻松集成到多轴系统中：它们的安装孔模式与我们的旋转平台和测角仪的安装***匹配。

型号：CLS-3232 - 带EDU的线性载物台,CLS-3252 - 带EDU的线性载物台,CLS-3282 - 带EDU的线性载物台,CLS-5252 - 带EDU的线性载物台,CLS-5282 - 带EDU的线性载物台,CLS-9292 - 带EDU的线性载物台,CLS-92152 - 带EDU的线性载物台。

CLL系列的线性平台基于循环滚珠滑块。Tey 提供 99、179、259 和 379 mm 的标准行程范围。由于可根据要求提供特殊长度，因此这些长行程平台是在有限空间内长距离***的解决方案。CLL载物台配备了SmarActs可更换的驱动单元，可确保轻松检修载物台的核心部件压电驱动装置。这使得维修成为一项非常简单的任务。CLL载物台可由我们的任何粘滑驱动控制系统操作。
也可以将多个滑块放在同一导轨上并独立移动它们。这允许完全电动的光学工作台设置。

CLL配件

提供各种附件，允许将现有设备安装在CLL载物台上。此外，CLL载物台可以与现有的光学设置或试验板结合使用。欢迎随时与我们联系，讨论特殊配件或完全定制的解决方案。例如，以下附件可用于将CLL平台用作光学工作台：被动滑块、机械端挡块、试验板适配器、光电机械安装座。

辅料

MCS2：MCS2是SmarAct最通用的模块化控制系统

SCU - 简单控制单元：带有一个或三个通道驱动器的控制系统，可用作OEM板或集成手持控制器。

MLS产品系列提供SMARSLIDE电磁直线电机，用于工业应用，实验室自动化和紧凑型定位解决方案，其中高速，力和纳米级***的运动必须与高占空比和耐用性相结合。这些平台配备了非接触式直线电机，开辟了一个高动态过程同时需要高速和纳米精度的应用领域。电磁驱动器可实现高达 1 m/s 的速度。此外，它们经久耐用，几乎免维护。其紧凑的尺寸确保无缝集成到现有系统中。

型号：MLS-3252 - 电磁直接驱动，MLS-5282 - 电磁直接驱动，MLS-92122 - 电磁直接驱动。

MLL系列电机基于强大的长寿命SMARSHIFT电机提供不同的长行程电磁驱动器。它可以很容易地与MLS系列的其他平台和其他SmarAct定位平台组合，形成复杂的多轴系统。

型号：MLL-400,MLL-82。

DLS系列，SmarAct的混合驱动器将粘滑驱动器和压电扫描仪的优点结合在一个紧凑的设备中。混合动力驱动器由两个驱动单元组成 – 粘滑单元，用于驱动载物台的中心部分，从而驱动整个盖板，以及扫描仪单元，用于相对于中心部分驱动盖板的外框部分。粘滑驱动器和扫查器都可以使用相同的反馈信号进行闭环定位。

型号：DLS-3232-混合动力驱动。

PLF系列，对于AFM等扫描应用，SmarAct提供具有扫描速度和最小扫描误差的SMARFLEX扫描平台。同样在光学显微镜领域，可以***地设置焦点，可以非常***地倾斜反射镜或耦合光纤。
PLF产品系列提供具有不同扫描方向的高精度SMARFLEX压电扫描仪。它们可以很容易地组合成多轴扫描系统。

型号：PLF3232-x.60,PLF3232-z.60,PLF5252-x.200。

SL系列线性定位器超紧凑，专为要求***小型化的设置而设计。在保持其微型尺寸的同时，定位器提供相对较长的行程范围，并且可以组合以构建复杂的多轴系统。SL 系列定位器宽 11 mm，高 5.2 mm。

型号：SL-0610 - 紧凑型线性平台，SL-0620 - 紧凑型线性平台，SL-0630 - 紧凑型线性平台。

旋转平台

基于不同的驱动技术，可提供高精度旋转平台。它们可以轻松地相互组合或与其他SmarAct定位器组合，以形成更复杂的设置，例如万向节，旋转欧拉支架，多轴或多旋转定位系统。SmarAct定位器允许连续和机械***制的旋转。如有必要，可以机械限制旋转，以避免碰撞或撕裂安装在其上的设备的电缆。其中许多版本有高压或特高压兼容版本以及完全非磁性版本。

型号：SR-1908-旋转平台，SR-2013-旋转平台，SR-2013-旋转平台，SR-2812-旋转平台，SR-3211-旋转平台，SR-4011-旋转平台，SR-4513-旋转平台，SR-5014-旋转平台，SR-5714-旋转平台，SR-5714C-旋转平台，SR-7012-旋转平台，SR-9219-旋转平台，SR-9219C-旋转平台，SR-12012-旋转平台。

高负载级

CHS和SHL系列的线性平台专门设计用于处理重负载。机械设计基于致动楔块，***了载物台运动的分辨率。单独的导轨确保沿负载方向直线运动，并允许集成位置传感器，以实现直接位置反馈和闭环操作。具有一个自由度的载物台，用于纯垂直提升运动，可以配备额外的恒力弹簧（CFS），以将有效载荷增加到更高的值。CHS级配备了SmarAct的可更换驱动单元，便于维护。CHS和SHL平台也可以组合在一起，形成在所有三个维度上都具有高阻塞力的多轴系统。

型号：CHS-3232-1D-5 - 高负载级,CHS-5237-1D-10 - 高负载级,CHS-9257-1D-15 - 高负载级,SHL-1D80N-1 - 高负载级,SHL-3D5N-5 - 高负载级。

测角仪载物台

CGO系列的SMARSLIDE测角仪平台非常适合需要在小角度（±5°）上非常***旋转的应用。它们有两种不同的半径可供选择，可以直接堆叠以形成具有共同旋转中心的***紧凑和坚硬的欧拉测角仪。

CGO系列具有可更换驱动单元（EDU）和兼容的孔型，可轻松与线性或旋转平台集成到多维串行
系统中。

型号：CGO-60.5 - 测角仪载物台，CGO-77.5 - 测角仪载物台。

定位系统

在***样品和工具时，科学和工业中的大多数应用都需要一个以上的自由度。SmarAct的使命是成功解决您的特定定位任务，并让您完全满意。从在平面上定位组件和样品到高度复杂的3D定位任务：SMARBOTIC定位系统旨在***应对您的挑战。

TRIPOD 产品系列提供高度模块化的多维定位系统，将串行运动学的多功能性和并联运动学的紧凑性结合在一个混合设计中。

型号：TRIPOD 400-6DoF，TRIPOD 52-6DoF，TRIPOD 92-6DoF。

SMAR POD运动系统提供类似于***六足位移台系统的六个自由度，同时***的分辨率和可重复性。与串联运动系统相比，并联运动学SMARPOD表现出更高的刚度。用户友好的软件包可轻松集成到您自己的控制环境中，确保非常短的设置时间。

型号：SMARPOD CLS-32，SMARPOD 70.42，SMARPOD 110.45，SMARPOD 225.75，SMARPOD P-SLC-17，SMARPOD P-SLC-24，SMARPOD P-CLL。

典型的定位系统可作为SmarAct模块化系统的一部分提供。这些定位系统以客户为灵感，代表了客户最需要的系统和平台。
该系统用途广泛，可用于各种定位任务。如果直接安装方法，所有系统也可不带试验板适配器。
在这些典型系统的基础上，结合客户特定的连接元件和客户特定的定位器，可以实现非常复杂的串行定位系统。
如果您的应用需要我们网站上未显示的特殊配置，请随时联系我们的应用专家，讨论您的应用要求。

2 自由度,具有两个自由度的自定义系统

型号：XY-SLC17：22,XY-SLC17：30,XY-SLC17：80,XY-SLC24：60,XY-CLS32：32,XY-CLS52：52。

3自由度,具有三个自由度的自定义系统

型号：XYZ-SLC17：22，XYZ-SLC17：22，XYZ-SLC23：30，XYZ-XY SLC17：40 Z SLC17：30，XYZ-SLC24：45，XYZ-CLS32：32，XYZ-CLS52：52，XYZ-SHL-3D5N-5。

4自由度,具有四个自由度的自定义系统

型号：XYZR-XYZ CLS32：32 R SRP32：11，XYZR-XYZ SLC17：30 R SRP20：13。

显微镜载物台，在生命科学领域，样品的***处理和操作是显微镜工作站日常工作中最重要的部分之一;因此，所使用的设备必须非常准确和可靠。SmarAct为您的特定应用提供高精度、坚固和定制的显微镜平台。

型号：SOM-12090，SOM-180150，SOM-505020，SOM-8080，SOM-808030。

电动光机械

小型化、***化和模块化使SmarAct定位系统成为光学领域复杂设置和实验的解决方案。除了各种多轴定位系统外，SmarAct还开发了大量特殊的光机械部件。
结合定位传感器，它们可实现闭环位置控制，非常适合自动或远程控制的实验设置。
为了满足对真空光学装置的高要求，几乎所有组件都提供高真空或超高真空版本。对于必须避免反射的设置，可以使用组件的黑色阳极氧化版本。这里介绍的所有光机械组件和设备都可以高度定制。我们总是很乐意讨论满足您确切要求的定制解决方案。

***倾斜镜支架，电动倾斜镜座是光学系统的关键部件。倾斜反射镜支架适用于市场上最常见的光学器件，范围从 0.5 到 2 英寸。在直径上。还提供适用于低污染应用的 UHV 兼容系统和反射镜支架。例如，它们用于高功率激光腔。
SmarAct提供具有主动闭环控制的可倾斜镜座。集成编码器基于电感式测量原理，不会产生杂散光。

型号：STT-12.7 - ***倾斜镜安装，STT-25.4 - ***倾斜镜安装，STT-50.8 - ***倾斜镜安装，STT-2013 - ***倾斜镜安装。

虹膜隔膜，电动虹膜膜用于光电子、激光和医疗技术等领域。它们允许完全远程控制光学设置。
由于使用了高质量的材料，即使在***条件下，虹膜片在数千次打开/关闭循环中也很可靠。虹膜膜可以选择配备位置传感器。这样就可以对孔径进行闭环控制。提供高真空和超高真空兼容版本，以及有关孔径尺寸、基材和整体尺寸的定制组件。

型号：SID-7 - 虹膜膜，SID-18 - 虹膜膜，SID-50 - 光圈膜片，SID-5714-ID-18 - 虹膜膜，SID-5714-ID-22 - 虹膜膜，SID-5714-ID-25 - 虹膜膜。

滤光轮

型号:SFW-6-25.4 - 滤光片转盘,SFW-8-25.4 - 滤光片转盘,SFW-5-50.8 - 滤光片转盘。

矩形孔径

型号：SMS-20-0 - 矩形光圈，SMS-20-20 - 矩形孔径。

SMARGON微型机器人

在选择用于科学和工业的定位设备时，精度、坚固性和可靠性是重中之重。SmarAct设计了一个具有六个自由度的机器人定位系统，用于实验或微装配设置中的各种定位任务。其紧凑的设计造就了纤薄的轮廓，即使在狭窄的空间内也允许较大的旋转角度。通过智能自动校准程序，它可以在所有旋转轴的个位数千分尺范围内实现混乱。
SMARGON是一种具有六个自由度的定位系统，基于安装在重型旋转平台上的串行和并联运动学的组合，定义了设备的ω轴。该旋转平台可以是直接驱动或压电驱动平台。***的混合运动学方法允许末端执行器（也可以是组件或 50 克的其他有效载荷）在 X、Y 和 Z 方向上定位，并在 χ、φ 和 ω 方向上旋转。
SMARGON控制系统计算部分平行的运动学变换，允许直接定位末端执行器，这使得姿势的教学变得容易。与 MCS2 模块化控制系统的兼容性***了与现有控制环境的轻松集成，并以直观的方式控制定位系统。

SMARGON由安装在重型旋转平台顶部的五个自由度的定位系统组合组成。压电陶瓷驱动的旋转平台或高精度空气轴承可用于定位系统的ω旋转。五轴定位平台允许被研究的样品沿 X、Y 和 Z 方向定位，并在 χ 和 φ 方向
上旋转。SMARGON控制系统计算部分平行的运动学变换，允许在梁中直接定位和对准。在其标准配置中，磁性样品架安装在前端，这提供了一种快速便捷的方法来装载和卸载不同的样品。
这款高精度测角仪专为X射线衍射实验而设计。因此，SmarAct特别关注SMARGON定位系统的六个自由度。
测角仪整体紧凑，占地面积小，有助于限度地减少自阴影效应。这也允许将X射线探测器放置在更靠近样品的位置，从而产生要检测的衍射锥的更大部分。SmarAct还能够提供真空兼容版本或完全由非磁性材料制成的SMARGON。
整个设置的混淆范围代表了整体性能，并且在很大程度上取决于每个定位阶段的精度。因此，每个阶段都***对齐，以确保组合多轴系统中的协同作用。此外，通过可用的校准套件进行的复杂校准为在系统运动控制器中实施的主动补偿程序提供了基础。下表概述了成功校准后现场操作期间确定的系统规格。

校准套件由硬件和软件部分组成，两者都设计用于自动测量与理想旋转的偏差，并计算将存储在PMAC中的补偿参数。硬件部分包括配备有陶瓷球作为测试对象的校准样品。带有力传感器的三维定位系统用于测量陶瓷球的横向位移，同时校准样品由SMARGON旋转。复杂的例程可确保在几分钟内校准测角仪。

Smaract模块化系统

变化在学术研究和工业制造中都是不变的。设备需要具有适应性，以满足新的要求并保持投资可控性。
SmarAct的模块化系统是一种产品概念，允许客户基于严格的模块化以及线性，旋转和测角仪平台之间的相互兼容性，在现场调整，修改和重新配置复杂的多轴定位系统。它允许组合 CLS、SLC、CGO、DLS、MLS 和 SR 产品系列的兼容执行器，以形成复杂且可重新配置的定位设置。标准化的尖括号、适配器和附件提供了将SmarAct的单轴平台组合成可转换仪器所需的灵活性，同时***了由此创建的定位解决方案的精度和质量。由于高度模块化和大量的组件和附件，SmarAct模块化系统提供了几乎***的可能性来构建您自己的设置。下面介绍的定位系统作为示例，展示了SmarAct模块化系统的可能性和现场可重构性。

微型夹持器

在自动化装配线上***处理零件和工具以及生命科学中的样品处理和操作通常是最关键的任务。
我们通过多功能抓取解决方案补充了我们的产品组合，以满足不断增长的需求。
SmarActs的微型夹持器由线性SMARSLIDE平台和夹爪组成，如果需要，可以轻松更换和定制。
当配备位置传感器时，微型夹持器可以完全控制抓取过程。此外，集成在平行微型抓手SGP-17F中的力传感器不仅可以控制钳口开口，还可以在处理易碎或高度脆弱的物体时控制夹持力。

型号：SG-1730 - 微型夹持器，SGP-17F - 微型夹持器。

特定环境阶段和系统

为了在***条件下为您提供的定位性能，SmarAct为工业和科学领域的各种应用开发了其定位平台的专用版本。对于需要在低温、超高真空或高磁场下运行的应用，SmarAct完善了特定材料、合适的布线和特殊制造工艺的使用。
我们的应用专家总是很乐意与您讨论您设置的特定环境条件，并为其找到解决方案。

低温压电平台和系统，工业和基础研究中的许多应用都需要低温。此外，在许多情况下，不仅需要冷却样品，还需要在低温恒温器内***地机械操作它们。SmarAct开发了具有低热分布和超高真空兼容性的SMARSLIDE平台，允许在低至mK的温度下操纵样品。此外，它们可以使用高达330K的功率，并且可以像常规UHV系统一样烘烤。还提供非磁性版本。

型号：SLC-2430-F - 闭环低温载物台，SLC-2445-F - 闭环低温载物台，SLC-2460-F - 闭环低温载物台，SLC-2475-F - 闭环低温载物台，SLC-1720 - 线性压电平台，SLC-1730 - 线性压电平台，SLC-1740 - 线性压电平台，SLC-1750 - 线性压电平台，SLC-1760 - 线性压电平台，SLC-1770 - 线性压电平台，SLC-1780 - 线性压电平台，SLC-2430 - 线性压电平台，SLC-2445 - 线性压电平台，SLC-246 - 线性压电平台，SR-2812-CR - 低温旋转台，SRT-2006 - 低温旋转阶段，STT-12.7-CR低温***倾斜镜支架，SLT-1213- 低温线性平台，低温定位系统。

控制系统和软件

每个成功的定位解决方案都至少依赖于两个支柱。***个由解决方案的机械部分定义，***个由控制它的电子设备和软件定义。SmarAct复杂易用的控制系统，加上我们直观的软件解决方案和软件开发工具包（SDK），是将SmarAct定位技术快速轻松地集成到您的应用中的基础。
SmarAct的控制系统产品组合包括针对不同应用和集成场景优化的各种组件。从单通道手持控制器到多达 18 个通道的机架安装模块，我们总是很高兴为您提供合适的工具。

控制系统

型号：MCS2，SCU - 简单控制单元，SDC2，斯玛拉特手控制器EMS。

软件

斯玛滑技术

每当将压电原理***的分辨率与宏观行程范围相结合的关键时，SMARSLIDE平台都是***的选择。粘滑压电驱动技术使SMARSLIDE能够提供具有从几毫米到超过一米的线性定位范围的载物台，以及***旋转载物台和超精密和刚性测角仪。

压电驱动旋转平台

型号：SR-12012 - 旋转平台,SR-1908 - 旋转平台,SR-2013 - 旋转平台,SR-2812 - 旋转平台,SR-2812-CR - 低温旋转台,SR-3211 - 旋转平台,SR-4011- 旋转平台,SR-4513 - 旋转平台,SR-5014 - 旋转平台,SR-5714 - 旋转平台,SR-5714C - 旋转平台,SR-7012 - 旋转平台,SR-9219 - 旋转平台,SR-9219C - 旋转平台,SRT-2006 - 低温旋转阶段。

计量产品

高精度位移测量解决方案

干涉仪

位移测量用于非接触式高精度位移测量的 PICOSCALE 干涉仪。

对于高精度位移测量，SmarAct提供PICO SCALE干涉仪，这是一款具有皮米分辨率的强大传感器。基于***紧凑的迈克尔逊干涉仪，可以非常有效地实现对目标反射率限制较低的非侵入式位移测量。

传感器头可用于通用或针对特定任务（如角度或差分测量）进行优化。此外，我们还提供用于真空、低温或其他恶劣环境的传感器头。由于其紧凑性，它们几乎适合所有设置。强大的固件模块和多功能附件补充了PICOSCALE产品组合，强调其作为实验室设备的用途，用于与其他设备同步，信号生成，实时计算和更多应用。

高精度非接触式位移测量

为了高精度测量位移，SmarAct提供了PICO SCALE干涉仪。

• 一台仪器中有 3 台平行激光干涉仪，用于 3D 测量

• 测量带宽高达 2.5 MHz（10 MHz 采样率），分辨率低至 1 pm1

• 可对大多数材料（塑料、玻璃、金属甚至水）进行测量

• 适用于不同应用和环境（包括真空和低温）的各种传感器头

• 可通过可选模块扩展到完整的实验室测量和控制仪器

• 久经考验的性能，拥有 100 多名满意的客户

测振仪

振动测量，用于小样品模态分析的皮克级测振仪。

PICO SCALE测振仪是一种交钥匙解决方案，用于测量尺寸从几微米到几厘米的微机械结构的振动。应用包括MEMS、传感器、微型扬声器以及轴承和执行器的测试。由于该仪器配备了集成显微镜，可以测量高达100万像素，因此非常适合以高空间和时间分辨率可视化振动模式。

光学编码器

METIRIO? 光学编码器 – 紧凑型读数头，可用作 OEM 和独立组件。

METIRIO是一款进的高精度光学编码器，其设计和制造旨在满足闭环纳米定位最严格的市场要求。该器件的开发基于多年的经验和广泛的产品和市场分析，并考虑了应对当今技术挑战的基本设计规则。它具有的小型化，高分辨率和速度。读数头是模块化的，可以作为OEM产品提供，也可以内置到定制的金属外壳中，以促进集成过程和易用性。梅蒂里奥在低功耗和特高压使用方面树立了新标准。相关软件的图形用户界面包括简化参数设置的智能功能，所有参数都可以存储在内部存储器中，以便可能调用。METIRIO 编码器设计用于测量所有间距为 20 μm 的反射增量刻度，包括参考标记检测。

纳米探针

半导体器件的电气特性。

纳米探针台SMAR探针LX的开发旨在将纳米分辨闭环探测在效率和稳定性方面提升到一个新的水平。它允许定位多达八个探头来分析或操作固定在其样品台上的样品。该系统集成到电子显微镜中，用于5 nm晶体管的故障分析，或集成到光学显微镜装置中，用于大样品的大气探测。

售后说明

• 1. 物流配送

     

• 2. 付款方式

     

• 3. 退换货政策

     

• 4. 票据制度