二手美国康宁Corning Tropel FM100平坦度仪/翘曲度测试仪/弯曲度测量仪参数

美国Flat Master系列平面度测量系统/平面度仪/平整度仪/平坦度仪基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和应用光学等材料科学和制程工艺领域的知识, 上美国康宁CORNING平面度测量仪品牌创造并生产出了众多被用于高科技消费电子、移动排放控制、通讯和平板显示等科学领域产品的关键组成部分。美国康宁Corning Tropel Flatmaster 100平面度仪也称为平面度测量仪、平整度仪、平坦度仪等，为***部件的制造商提供了******的平面度及表面形态测量。通过非接触式光学测量技术能在很短 的时间内记录下整个表面的数据。Flatmaster 100平面度仪提供了五种纳米级的解析度和高达50纳米的标准精度，能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行***测量。

一、技术特点及应用领域：

无接触和无损伤测量

适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料

适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂

适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，超光滑面

二、可测量技术参数：

Tropel Flat master 100平面度仪/平坦度仪/平整度仪可测量多种不同指标：

厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓

***分析系统：

三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度

可以实现自动、快速、准确、稳定的测量

超过15年的工业应用，***几百台的装机量

三、技术参数：

***度：50nm （2.0μ″）

重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）

分辨率：5nm （0.2μ″）

可测量工件尺寸：5mm-100mm（更小工件也可提供）

动态测量范围：>50um

测量数据点：230,000百万 / measurement

测量时间：5秒

电源：～220V 50Hz

1，测定方法：光波干涉方法（倾斜入射）

2，光源：半导体激光（655nm，3mw）

3，样片尺寸：∮130mm以下，但是平坦度在∮100mm以下

4，样片厚度：2000um以下（平坦度测定250um-1000um以下）但是承受台10mm、其他厚度请以其他方式商谈

5，样片的种类：晶片（硅、化合物、酸化物、玻璃）金属片、磁碟（铝、玻璃）模具等 镜面及非镜面（除反射率低的非镜面）

6，样片的倾斜角度：比垂直向前倾斜8度

7，干涉计设定感度：1，2，3，4，5μm/线距

8，测定范围：线距感光的30倍（线距状况、有比镜片尺寸等30倍以下的场合）

9，摄像光学比：3倍以上

FT-17 Series FT-900 Series

无解析无显示 带解析 带解析（V2规格） 无解析无显示 带解析 带解析（V2规格）

测定方法 光波干涉方式（斜入射）

光源 半导体激光（655nm、3mW） He-Ne激光（632.3A、5mW）

样本尺寸 直径130mm以下（平坦度测定100mm以下） 直径200mm以下

样本厚度 2000um以下（根据测量承载台不同，可达10mm），其他厚度需客户另行协商

样本种类 Wafer（Si、化合物、酸化物、玻璃）、金属片、硬盘（铝、玻璃）等镜面和非镜面（反射率低的非镜面不可测试）

样本倾斜角度 垂直方向倾斜8度 垂直或垂直方向倾斜8度

二手美国康宁Corning Tropel FM100平坦度仪/翘曲度测试仪/弯曲度测量仪设备照片

二手机械库存明细

双面抛光机系列：

日本：hamai16B   speedfam16B  21B 28B  30B  40B 双面抛光研磨机

德国：Peter Wolters 319/320系列双端面抛光机

国产：金研/宇晶9.6B  9S 9B  13B 15B 16B 20B

镀膜机械系列：

日本：光弛OTFC-1300/1550/2350

德国：莱宝：1300

台湾：龙翩LP-1400/1650/1800

韩国：韩一 1200  联合2050

南光：1100/1300

检测仪器：

日本岛津：1900/2401/2550/3700分光光度计

日 立   ：2900/4000/4001/4150 光谱仪

二次元/三次元（2010/3020/4030.......）

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