Inner shadow Ring Wxz 150 mm AM

LF-F/LV-F 系列oerlikong莱宝真空低温泵COOLVAC10000iCL维修

AMAT0224-49143：LINTEC气体流量计LM-1100M-7 TEOS 0.2g/min

深圳市天铉真空技术有限公司

MKS MODE：1179A00452CR1BV真空计  流量计美国 日本  联系13510223365

Inner shadow Ring Wxz 150 mm AMAT PN: 0200-10004 (6" SMF)

bellows
motor

主要用于wafer
loader，wafer stage各部位控制马达

fetch
arm

3，卤素灯

4，LSA
HE-NE激光管，激光干涉计interferometer

6，NIKON电路板维修（以坏换好）等

莱宝COOLVAC低温泵的工作范围10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）属于气体捕集泵。工作原理是将气态物质通过低温冷凝和低温捕集到泵内冷表面。为了能够获得高真空或超高真空，冷表面（低温板）必须冷却到足够低的温度。根据所用冷却系统的类型可以分为制冷机低温泵、 贮槽式低温泵和蒸发器低温泵。

客户得益

- 所有气体都有高抽速

对于相同直径的高真空法兰，低温泵可以达到所有高真空泵MAX的抽速。

与气体传输泵（例如涡轮分子泵）相比，低温泵在真空侧没有任何机械活动

≤ 0.75 x 10-11 Torr).压强范围的无烃真空

其它优点：

- 仅启动和再生期间需要前级泵

- 性价比更高，使用成本***，尤其是需要大抽速的应用

莱宝真空生产的低温泵采用本厂生产的COOLPOWER双级冷头冷却（Gifford/McMahon原理）。

一级冷头（9）冷却热辐射防护屏和低温泵的障板（6）。

热辐射防护屏和障板为铜质，它们能很好地传递热量，从而优化制冷容量。

根据工作条件，达到 10到 20 K的工作温度。氮气、氧气和氩气在这里低温冷凝。冷伞采用高导热铜材与二级冷头紧密相连。氢气、氖气和氦气被吸附到冷伞上面部分覆盖活性炭上。

COOLVAC制冷机低温泵

为了***在安全阀动作时，安全地排出可能影响健康的气体，安全阀另配有一个 DN 40 KF 法兰，上面可以连接一条排气管线。

低温泵工作的一个重要方面是再生。由于低温泵属于气体捕集泵，所以被抽气体都蓄积在泵内，饱和后必须泵排出。

非电控再生系统的低温泵这种低温泵通过向泵内吹扫干燥、预热的惰性气体（例如氮气）加热低温区到室温。此情况下，由于低温泵内不可能有确定的和受控制的温度，所以无法排除氢气和氧气同时存在的情况。只有通过干燥惰性气体的稀释作用来防止可燃混合气的形成。

由于莱宝真空的压缩机COOLPAK 6000HD功能强大，可以同时驱动两个以上冷头或低温泵。

- ***的降低投资和操作成本