Filmetrics实验室设备Lumina AT1薄膜缺陷检测仪

Lumina AT1薄膜缺陷检测仪实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。实用于透明、硅、化合物半导体和金属基底。在3分钟内扫描并显示150毫米晶圆。可以标刻出缺陷的位置，以便进一步分析。 可容纳高达300 x 300 mm的非圆形和易碎基板。 能够通过一次扫描分离透明基板上的顶部/底部特征。

产品特点：

• 实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。

• 实用于透明、硅、化合物半导体和金属基底。

• 在3分钟内扫描并显示150毫米晶圆。

• 可以标刻出缺陷的位置，以便进一步分析。

• 可容纳高达300 x 300 mm的非圆形和易碎基板。

• 能够通过一次扫描分离透明基板上的顶部/底部特征。

系统优势的四个检测通道：

• 偏光（污渍、薄膜不均匀性） 
  

• 坡度（划痕、表面形貌）
  

• 反射率（内应力、条纹）
  

• 暗场（颗粒、夹杂物）

  
  

AT1应用：

1.透明基底上的缺陷

2.单层污渍或薄膜不均匀性

3.化合物半导体的晶体缺陷

在化合物半导体基底和外延生长层上检测和分类多种类型的晶体缺陷

AT1的多用途：

• 缺陷类型
  

• 薄厚基板

• 透明和不透明基板

• 电介质涂层

• 金属涂层

• 键合硅片

• 开发和在线生产

AT1 软件使用来自多个探测器任意组合的数据生成缺陷图和报告：

• 地图和位置
  

• 缺陷数量
  

• 彩色编码缺陷
  

• 缺陷尺寸

Filmetrics F20

Filmetrics F50

F10-RT

Filmetrics F54

F54-XY-200

F3-sX

Filmetrics-F40

Filmetrics F32

F10-AR 

F54-XYT-300

F10-HC

F60-t

Smart SE

Film Sense FS-1

AutoSE

Zeta-20

Zeta-388

Profilm3D

Filmetrics R54

Filmetrics R50

Nanosurf Flex-ANA

Nanosurf AFSEM

Lumina AT1

代 理日 本各类工业品：日本SAN-EI TECH三英，MUSASHI武藏，Nordson诺信EFD，IEI岩下，aicohsha爱工舍ACM（特殊立式搅拌机），KLEENTEK可滤特，ASAHIKASEI旭化成，TAGAWA十川，YODOGAWA淀川电机，MALCOM马康，USHIO牛尾，SHOWA DENKI昭和电机，TSUBAKI椿本，morite茉莉特，KIKUSUI菊水，HOZAN宝山，TRUSCO中山，cedar思达，MEISEI迈泽（电热剥线器）、SANKO山高（金属探测器、膜厚仪）、TAKASAGO高砂制作所 （直流电源）MITSUBISHI三菱 （UPS电源、PLC自动化）
CCS光源（视觉光源、检查光源）、Tsubosaka壶坂（灯箱、光度计、辉度箱、光源）、POLARION普拉瑞（探照灯、HID强光灯、检查灯）AITEC艾泰克（检查光源）、Iwasaki岩崎（金卤灯、HID灯、UV灯）
OTSUKA大塚电子（光学膜厚仪、相位差测试仪、粒度仪）、LUCEO鲁西欧（表面应力仪、偏光应力仪）
KYOWA共和（应变片、压力传感器）、ONOSOKKI小野测器（传感器、检测仪）
CKD（气动元件、电缸）、FUJIKURA藤仓（单向阀、泄压阀、摩擦气缸）
TOKISANGYO东机产业（粘度计）、ASKER高分子计器（橡胶硬度计、试验机）SK新泻精机（水平尺、水平测量仪器）SKSATO佐藤（温度计、温度记录仪）、上海一恒仪器 （恒温箱、烘箱、）、TECLOCK得乐（硬度计、千分表）、AND爱安得（电子天平、工业天平）、KEM京都电子（水分仪、自动电位滴定仪）
TOHNICHI东日（扭力扳手、螺丝刀）KANON中村（电动螺丝刀、扭力工具）
Heishin兵神（泵、点胶机）、KOKUSAN科库森离心机、YUASA汤浅（柔性屏弯折试验机）、
SIMCO思美高，SSD西西蒂，DIT东日技研，KASUGA春日，TRINC高柳（静电仪器设备）、Kanetec强 力（磁力设备、高斯计）
ASONE亚速旺（实验室仪器、车间穿戴装备）、SAKURAI樱井（无尘纸、热敏纸）、Nitto-Kohki日东工器（快速接头）、NIRECO 尼利可（电动执行器、传感器）