日本sscooling架式冷水机组ThermoRack 1201

• 1，200 瓦的冷却能力

• ±0.05°C 温度稳定性/重复性

• 工作温度范围：-10°C 至 80°C

• 专为非常快速的响应而设计

• 减少晶圆间的变化，消除晶圆效应

• 比基于压缩机的冷水机组节能高达 80%

• 采用热电技术，可靠性高，维护成本低

• 设计简单 – 只有 2 个活动部件

• 消除氟利昂和其他有害制冷剂，符合新的环境法规

• 使用更少的设施水和昂贵的冷却剂，如氟惰性或高登

• 紧凑的尺寸：多达 6 个 TR1201 系统适合 1 台压缩机冷水机组的空间

• 通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系统

• 通用电源 – 插入即可在世界任何地方使用

• 等离子刻蚀、等离子灰、CMP 和其他工艺的***解决方案

• 辅助加热器可用于加热65°C以上

• 询问我们的以旧换新优惠

日本sscooling架式冷水机组ThermoRack 1201

规格

工作范围：

5°C 至 80°C（-10°C 至 80°C，带 N2 选项）
如果在 0°C 以下工作，则需要 LT 选件

环境温度：

10°C 至 40°C 无冷凝

稳定性/可重复性：

恒定负载下± 0.05°C（即使在接近环境温度时）

制冷量*：

~1，200 瓦 @ 20°C，20°C 设施用水

加热能力**：

~2，000 瓦 @ 20°C，20°C 设施用水

冷却液/工艺流体：

氟惰性/高登/HFE或水/乙二醇

工艺流体接头：

1/2“ 世伟洛克（316 不锈钢）

泵：

无刷直流磁力驱动离心机

流量

14-18 升/分钟@ 20 psig（取决于工艺流体）

油箱容积：

5.7 升（1.5 加仑），带 2 个液位传感器

设施用水：

4-19 升/分钟（1-5 加仑/分钟）@ 10-35°C 过滤，处理过的再循环设施冷却水，pH 6.5 至 8.2

设施水配件：

1/2“ 世伟洛克（316 不锈钢）

N2/CDA（N2 选项）

500 sccm -30°C 露点或***的 CDA 或 N2，
30-60 psig （2-4 bar），用于低温操作

接液材料：

工艺：铝，不锈钢和聚合物设施
：密封硬质阳极氧化铝
和不锈钢

尺寸（宽 x 深 x 高）：

19 英寸 x 24 英寸 x 8.7 英寸 5U（48 厘米 x 61 厘米 x 22 厘米）

重量：

70 磅（31 千克）

电源输入：

200-240 VAC 1 相，50/60 Hz， 10 A

断路器：

16 安培 200-250 VAC 2 极，带 30 mA GFCI

远程EMO：

外部干接点

通信：

泛林， 应用材料公司， 电话， RS232， 其他

警报：

温度、液位、系统或组件
故障（显示、干接点和机器接口）

标准：

半 S2-0200，符合 F47 标准，CE

***：

2 年

*注意：冷却能力会因配置和设施而异 水温/流速

**注意：80°C的加热能力非常有限。 联系 SSCS 讨论我们的辅助加热器。