德国SPS(POLOS)匀胶机SPIN150i升级型号SPIN150x用于半导体行业使用

一、SPS(POLOS)公司介绍

SPS(POLOS)旋涂机主要用于利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均匀高质量厚度的薄膜。通常，您在半导体晶圆上旋转涂光刻胶，但我们的POLOS旋涂机也用于旋涂聚合物薄膜，如嵌段共聚物（BCP），如PDMS和PMMA，或作为低成本的溶胶-凝胶方法，例如旋涂ZnO薄膜。同时，POLOS旋涂机提供***的工艺：在触摸屏上轻松直观的编程，***的程序/步骤和图形表示。以及可重复的旋涂工艺，一次又一次。这使得POLOS旋涂机成为您可以买到的的实验室旋涂机

二、SPS(POLOS)型号介绍

SPS(POLOS) Part nr: 41096 POLOS SPIN150i 

SPS(POLOS) Part nr: 41387 POLOS SPIN200i NPP

SPS(POLOS) Part nr: VP-230V Vacuum Pump (Oil-less) 

SPS(POLOS) Part nr: 27852 

SPS(POLOS) Fragment Adapter (D-V2.5-S50-PP)  

二、SPS(POLOS)产品分类

POLOS SPIN150x

POLOS SPIN150x 是一种多功能、高质量的基底

旋涂机，由 NPP 制成。它专为研发和小批量生产

而设计。台式型号可手动或自动（可选）分配化学

品

德国SPS(POLOS)腔体规格

外壳材质 天然聚丙烯（NPP）

底物直径 可用 6” (150 mm) 晶圆

可用 4” x 4” (100 mm) 底物

德国SPS(POLOS)适用范围:

? 涂层

? 清洗冲洗/烘干

? 显影

? 刻蚀

? PDMI

? 其他程序

德国SPS(POLOS)硬件规格：

液体过滤疏水阀

独特的外壳和排水管设计，可切换桌面和Indeck模式

用于注射器或喷嘴的中心注射支架

? 盖锁和真空传感器确保用户安全

? 大尺寸触摸显示屏（可拆卸）

? USB 端口，用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件

更新

德国SPS(POLOS)驱动装置规格：

? 间接无刷驱动装置

? 转速高达 12.000 RPM（取决于底物/卡盘）

? 高加速度、高精度

? 加速/减速 1-30.000 RPM

? 顺时针、逆时针旋转和漩涡选项

德国SPS(POLOS)可选选项SPIN150i和；SPIN200i

衬里有宠物。0.5 mm厚，透明，防静电（108-1010·），以防止室内可能积聚静电。

用于单管或三管的中央分配管架，集成N2扩散器

NPP中的波纹排水管和连接器，包括连接到排水口的连接。

免手使用的脚开关；控制启动/停止功能和真空。

德国SPS(POLOS)匀胶机SPIN150i升级型号SPIN150x用于半导体行业使用