产品特性:高真空 | 加工定制:是 | 品牌:晨立 |
型号:CL | 用途:退火 | 是否支持加工定制:是 |
是否进口:否 | 炉管数:1-4管 | 配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸) |
悬臂舟速度:20~1000 mm/min | 气体控制:浮子/质量流量计 | 悬臂舟行程:2000 mm |
悬臂舟精度:±1mm | 工作温度:≤1300℃ |
设备用途:退火炉是半导体加工中的典型热处理设备,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
主要技术参数:
◆工艺管数量:1-4管
◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)
◆工作温度范围:400~1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)
◆结构型式:卧式热壁型
◆气体流量设定精度:±1%F.S
◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)噪音:≤62dB(A)震动:≤3μm
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
◆控制方式: 工业微机控制
产品描述:
◆高性能进口元器件
组合关键件采用进口管件,且为半导体级别;优 质的元器件组合,从而***成膜质量。
◆高精度温度控制
新型炉体设计,提高了温度稳定性;配合高精度温控仪的使用,***工艺过程中温度的快速稳定。
◆软着陆载片装置
软着陆送料装置,避免了SiC桨的遮挡影响,提高了扩散均匀性。同时桨的清洗周期大幅度延长。
企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 注册资本 | 200.00万人民币 |
公司注册地址 | 山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼 | 统一社会信用代码 | 91370282686796380X |
登记机关 | 青岛市即墨区市场监督管理局 | 法定代表人 | 姜新诚 |
公司成立日期 | 2009-06-02 | 营业期限 | 2009-06-02 至 无固定期限 |
经营范围 | 一般项目:工业自动控制系统装置制造;半导体器件专用设备制造;专用设备制造(不含许可类专业设备制造);电子专用设备制造;电力电子元器件制造;电子元器件制造;半导体分立器件制造;光伏设备及元器件制造;环境保护专用设备制造;工业自动控制系统装置销售;电子产品销售;半导体分立器件销售;半导体照明器件销售;半导体器件专用设备销售;半导体照明器件制造;电子专用设备销售;光伏设备及元器件销售;工业机器人安装、维修;工业机器人销售;货物进出口;技术进出口;环境保护专用设备销售;非居住房地产租赁。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动) |