ULVAC 爱发科 LR1200 为干式真空泵，具有众多优势。其耐腐蚀性能佳，耐磨、耐冲击、抗蠕变，无油干燥清洁，还具备低温均热化、大抽速与短排气时间、低噪低震等特点。

这款干式真空泵广泛应用于多个工业领域。在活性气体的排气方面，如 CVD、刻蚀等；在非活性气体的排气上，像溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等都有它的身影。此外，产生粉尘工艺中的排气，以及涡轮式分子泵、机械罗茨泵等的前级泵和冷冻干燥中水蒸气的排气也常会用到它。

在日常使用中，需针对其特点进行维护与保养，并熟悉各种常见故障的产生原因及维修步骤。其常见故障包括泵体泄漏，可能由密封件磨损或损坏所致；噪音增大，可能是轴承磨损或部件松动引起；抽气性能下降，原因可能是泵内堵塞或叶片磨损；电机故障，如过载、短路等；控制系统故障会导致无法正常启动或运行；过热可能是冷却系统故障或长时间运行造成；振动过大则与部件松动或不平衡有关。

其中，控制系统常见故障可能有电路问题、元件老化等，这些会导致无法正常启动、运行不稳定等问题。

针对这些故障，维修步骤如下：首先检查电路连接，确保无松动；然后检测元件，如有损坏及时更换；再依据故障代码或指示灯，排查具体问题。在进行任何维修操作前，务必了解相关安全知识，并遵循正确操作流程。