W型硅片智能电池?组合示例

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这是智能电池水箱、夹具、加热器和搅拌器组合的示例。
它非常适合在芯片上电镀硅晶圆和凸块电镀等基础实验。

智能电池的结构

智能电池被放置在磁力搅拌器上，并通过旋转搅拌器来使用。 通过如下图所示的溢流循环，即使镀液蒸发，镀层区域的液位也能保持恒定，并保持稳定的电流分布和镀层区域。

组合示例

水箱容量有两种类型：500 mL 和 1000 mL。
10x15 mm 夹具的安装速率为 500 mL，10x15 mm 和 30 x 30 mm 夹具的安装速率为 1000 mL。
改变水箱的容积和夹具的尺寸可以通过特殊订单进行。
* 如果要使用热搅拌器，请使用玻璃智能电池 （A-56-0500G）。
*没有成套销售。

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• スマートセル? W型シリコンウェハ用組み合わせ例

ウェハ用めっき装置

スマートセル? W型シリコンウェハ用組み合わせ例

特許取得 商標登録商品

スマートセルの水槽と用治具、ヒーター、スターラーの組み合わせ例です。
シリコンウェハのチップへのめっきや、バンプめっきなどの基礎実験に最適です。

スマートセルの構造

スマートセルはマグネチックスターラー上に置き、撹拌子を回転させて使用します。下図のようにオーバーフロー循環をすることで、めっき液が蒸発してもめっきエリアの液面を一定に保つことができ、安定した電流分布やめっき面積の維持が可能です。

组合示例

水箱容量有两种类型：500 mL 和 1000 mL。
10x15 mm 夹具的安装速率为 500 mL，10x15 mm 和 30 x 30 mm 夹具的安装速率为 1000 mL。
改变水箱的容积和夹具的尺寸可以通过特殊订单进行。
* 如果要使用热搅拌器，请使用玻璃智能电池 （A-56-0500G）。
*没有成套销售。

1.水箱（500mL/1000mL）	2. 阴极夹具（10x15mm/30x30mm）	3. 阳极夹具（用于10x15mm/30x30mm）
4. 加热器	5.温度控制器	6. 桨式阴极储物柜

智能电池 500W（水箱容量 500mL）

智能电池 1000W（水箱容量 1000mL）