产品型号
OTF-1200X-5S-4CLV-PE
·射频电源可实现等离子增强从而***降低实验温度;
产品特点
·滑轨式可快速加热和快速冷却;
单温区，管径130mm加热区300mm
，可在温度范围较大的条件下制备材料，如碳、Zn0纳米管或纳米线及单层石墨烯等。
·电源:电压要求:AC 208-240V单相，50/60 Hz
·功率:3 KW
·温度:1200℃(小于0.5小时)
·连续工作温度:1100℃
·加热区长度:300mm，恒温区长度:100mm(+/-3℃)
·升温速率:≤20°C/min(加热元件寿命原因建议升温速率)
加热炉参数
·炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。
Phesnt site
8888
(Tanget vae)
Setting vaike
Cupst honet
Pmcetare of
88.88
Indicatas
Functiee
cnbunos
Satingiatrp
(Ran llie
Cune
Aneesbenen
mng Sning
Inerrase trutan
控制箱和炉体分开，中间通过航空插头连接
·包含一款518P型温度控制器(也可选配欧陆仪表恒温精度可达±0.1℃)
·PID自动控温系统
.智能化30段可编程控制
·控温精度:±1℃
·默认DB9 PC通信连接端口
温控系统
·RS485通讯接口
·PC控制软件:可选购PC控温软件，可用电脑控制炉体和记录数据

项目
100W射频电源
300W射频电源
500W射频电源
0-100W可调
0-300W可调
0-500W可调
输出功率
(稳定性:±1%)
(稳定性:±1%)
(稳定性:±1%)
射频频率
13.56 MHz
13.56 MHz
13.56 MHz
(稳定性:±0.5%)
(稳定性:±0.5%)
(稳定性:±0.5%)
射频电源
匹配
自动匹配
自动匹配
自动匹配
噪音
<50dB
<50dB
<50dB
冷却方式
风冷
风冷

风冷
输入电压
AC180-250V
AC180-250V
AC180-250V
·采用TRP-12的双旋真空泵;
·KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;
·真空度可达10-2Torr。
真空系统
·搭配TRP-12的双旋真空泵(抽速3L/s)(总进气量小干150sccn，该泵可以达到等离子发生真空度)
·搭配TRP-60双旋真空泵(抽速10L/s)(总进气量1L/min，该泵可以达到等离子发生真空度)

四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的***控制(***度:±0.02%)
·流量范围:
一路0-100 sccm
二路0-200 sccm
三路0-200 sccm
四路0-500 sccm
·电压:208-240V，AC，50/60Hz;
，气体进出口配件:6.35mm的聚四氟管或不锈钢管;
供气系统
·不锈钢针阀用于手动控制气体进出;
·PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置
注:接入供气系统的气源需搭配减压阀，将气压降至2mpa以下
晶材料技术有限公司司…
·设备总体尺寸:2300X600X1300mm(长宽高)
·净重:310kg
产品尺寸和重量
注意事项
采用氩气高于射频功率200w情况下，需特殊说明，设备需要特殊改造及测试，(有法兰过热情况)