S49/33提供3sccm-30slm的气体流量,质量流量控制器根据作为电信号发送的设定流量自动控制气体的流量,不受使用条件或气体压力变化的影响。流量大致可分为体积流量和质量流量两种类型。体积流量测量受环境温度和压力的影响。
质量流量计 质量流量控制器 气体流量控制器 热式气体流量控制器
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