| 产品特性:棒式离子发 | 是否进口:否 | 产地:日本SIMCO思美高 |
| 加工定制:否 | 品牌:日本SIMCO思美高 | 型号:5225 型 |
| 产品名称:棒式离子发生器 | 材质:棒式离子发生器 | 产品认证:棒式离子发生器 |
| 用途范围:棒式离子发生器 |
日本SIMCO思美高5225 型 Aero 棒式离子发生器棒式离子发生器现货
产品信息
5225 型 Aero 棒式离子发生器是一种棒式离子发生器,专为在半导体等超洁净工艺设备中使用而设计。
长处
■单晶硅电极在世界范围内具有***的采用记录,避免了具有
超低颗粒特性的电极材料引起的金属污染风险。■ 脉冲直流方式的广泛静电消除能力
■ 由全数字电路控制, 更稳定的离子产生和长期的离子平衡
■ 通过在静电消除目标附近安装 5200-SR 外部传感器(可选),可以反馈控制静电消除目标附近的离子平衡,而不是离子发生器棒本身(如果未连接 5200-SR, 离子发生器棒体的内置传感器可自动调整离子平衡)
■ 设置
与 EFEM 相匹配的棒长度以进行半导体前端处理 ■ 离子发生输出、离子发生时间、警报阈值等。可以在很宽的范围内设置各种参数。 灵活适用于
长距离应用和气流较弱的环境 ■ 只需数字输入参数即可获得高再现性,并且可以在短时间内完成
设置 ■ 除了简单的警报 IO, 通过使用免费提供的 DLL,可以进行实时监控,有助于了解工艺设备的状态。
规范
5225 型 AeroBar
| 输入电压 | 由 24V AC、50/60Hz、1W 典型 IM6T 供电。 |
|---|---|
| 通信形式 | RS485 (IM6T~5225) 接口 |
| 输出电压 | 0kv~约 +/-20kv |
| 输出形式 | 脉冲直流模式、稳态直流模式(可选) |
| 输出电流 | <15μ A,内置电流和电压限制电路 |
| 连接连接器 | RJ11,4 极4 极 |
| 离子生成时序 | 最小 0.1 秒、 10 秒可单独设置 |
| 电极 | 单晶硅电极可互换 |
| 臭氧产生量 | <0.005 ppm(24 小时综合测量) |
| 相应的清洁度 | *** 1 级,0.1 微米 |
| 大小 | 高 53 毫米 x 深 31 毫米 x 长 569 毫米 (-22)、721 毫米 (-28)、 907 毫米 (-36)、1128 毫米 (-44)、1412 毫米 (-56)、1636 毫米 (-64)、 1918 毫米 (-76) 和 2144 毫米 (-84) |
| 重量 | -22:1.02 公斤,每增加一个长度 0.17 公斤/30 厘米 |
| 装甲 | ABS 塑料 |
接口模块 型号 5200-IM6T
| 输入电压 | 24V 直流 +/-5%,1.5A |
|---|---|
| 通信形式 | 以太网、RS232C |
| 警报输出 | 继电器触点(*** V4.0 及以上版本) |
| 大小 | 高 74 毫米 x 深 71 毫米 x 长 315 毫米 |
| 重量 | 2 公斤 |
供应商信息
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 注册资本 | 100.00万人民币 |
| 公司注册地址 | 重庆市北碚区新茂路1号(自贸区) | 统一社会信用代码 | 91500109MA60JYK95D |
| 登记机关 | 重庆市北碚区市场监督管理局 | 法定代表人 | 袁小永 |
| 公司成立日期 | 2019-09-29 | 营业期限 | 2019-09-29 至 无固定期限 |
| 经营范围 | 一般项目:电子专用设备销售;仪器仪表销售;智能仪器仪表销售;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;软件开发;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);照明器具生产专用设备销售;照明器具销售;电子产品销售;化工产品销售(不含许可类化工产品);包装材料及制品销售;五金产品批发;五金产品零售;特种劳动防护用品销售;日用百货销售;工业自动控制系统装置销售;机械设备销售;金属工具销售;塑料制品销售;网络与信息安全软件开发;信息系统运行维护服务;电子元器件批发;电力电子元器件销售;办公设备销售;计算机软硬件及辅助设备零售;计算机软硬件及辅助设备批发;通讯设备销售;家用视听设备销售;风动和电动工具销售;光通信设备销售;幻灯及投影设备销售;货物进出口。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动) | ||
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