上海浦煦流体控制系统有限公司致力于推动气体的高效利用、不断为客户创造价值的使命，专注于制 造高品质的高纯及超高纯气体减压器、气体阀门，产品包括气体混配器、全自动气瓶柜、调压阀、隔膜 阀、单向阀、过滤器等，同时为客户提供流体系统的工程设计及施工。产品广泛应用于装备制造、半导 体、光伏、***等行业。

氦、氢气减压撬全自动切换装置C/AR混配器半导体等离子尾气处理炉

公司占地5000余平方米，2000平方米生产厂房，100平方CLASS   1000 无尘室。公司配备理化室。具 有高低温、震动、硬度、金相、光谱、非接触式表面光洁度、压力、流量整套检测能力。公司现有30余台 套精密机械加工设备，包括加工中心、数控车床、数控铣床等。

公司拥有一批富有20余年从业经验的技术专家团队。完整的产品线贴近市场需求，同时通过与美国、 法国等同行业技术合作，为国外***品牌进行定牌生产，技术能力得以不断提升。

氦、氢气减压撬全自动切换装置C/AR混配器半导体等离子尾气处理炉

公司通过了*** 国际质量体系认证，获得压力管道设计、特种设备制造(阀门及元件组合装 置)、特种设备安装(压力管道、压力容器)许可证。

上海浦煦流体控制系统有限公司愿为您的流体供应系统安全、洁净、高效的运作，提供整体产品解决 方 案 。

GC5000系列UHP供气用气瓶柜采用优质冷轧碳钢板焊接而成(SUS304不锈钢板可选),有效隔离气瓶与工作 环境，分单瓶、二瓶、三瓶及四瓶四种规格，气瓶柜顶部设有抽风口，

对于有毒有害气体在供气时建议***一定排风量，以确保安全使用。气瓶柜正面门板下部设置有通风百叶， 有利于加强气柜通风效果。

GC5000 系列气瓶柜设置有8mm 不锈钢丝加强钢化玻璃透明视窗，方便用气过程中监控。

GC5000 系列气瓶柜用于可燃性气体时，气瓶柜顶部标准配置有水喷淋系统，需要时可与烟感或泄漏报警器

联动。

直燃+水洗式尾气处理炉AR-FUEL WET TYPE GAS ABATEMENT SCRUBBER

SB770W 为燃气与空气预混动力燃烧式尾气处理炉，燃烧腔水冷，经燃烧处理 后的尾气经过进一步水洗、过滤后高空放散或排入中央洗涤塔。

应 用

■应用于ETCH,CVD,DIFF   等半导体行业工艺过程中产生 的废气处理，气体种类包括：

腐蚀性气体(Cl2,F2,HCl,HF,BCl3,HBr     等 )

可燃性气体(SiH4,TEOS,DCS    等 )

 氦、氢气减压撬全自动切换装置C/AR混配器半导体等离子尾气处理炉

产品特点

结构简单，可靠，处理效***

尾气燃烧、水洗，尤其适用于酸碱性尾气处理

低氮燃烧器，处理能力大(1000SLPM, 含吹扫置换氮气),处理效***； PLC 全自动控制，模块化结构，交货快

待机、沉积、清洁三个过程快速响应，三种运行模式，能源消耗少 标配粉尘刮刀

多级多重安全连锁，防回火设施设计，氮气稀释保护，确保长时间无故障安全运行；