步进式光刻机 技术服务

公司对国际三***的步进式光刻机，可提供设备维护保养以及整机的翻新服务。公司技术力量雄厚：（1）关于设备的正常作业服务：技术团队稳定，人员匹配度高，备品备件资源充足，支撑客户设备正常作业的服务。（2）机台基础保障服务：为客户提供保修、培训等;定期巡回诊断、维护;年包制、消费制服务等。（3）客户需求增值服务：客户可围绕光刻机提定制化应用需求，研发团队开展研制生产服务。（4）资源整合配置服务：根据不同客户的需求匹配围绕以光刻机为代表的单台、局部、整线集成服务。

在设备方面：（1）翻新及再制造：Stepper、DUV等光刻机、提供技术服务和备品备件、保障光刻机正常运行；（2）工艺能力：覆盖至90nm以内、涵盖2-12英寸、轨道系统In line控制技术；（3）改造与测调：透明片检测与传输、Flat、Notch兼容检测、Lens倍率/畸变/像差等误差检测；（4）定制化研制：零部件替代能力、自研装调工具能力；